[发明专利]带清洗枪的竖式清洗机在审
申请号: | 201410110735.X | 申请日: | 2014-03-24 |
公开(公告)号: | CN103894380A | 公开(公告)日: | 2014-07-02 |
发明(设计)人: | 张瑜;俞玮;秦贵明 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | B08B9/023 | 分类号: | B08B9/023;B08B9/032 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 王宏婧 |
地址: | 201203 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 清洗 | ||
1.一种带清洗枪的竖式清洗机,其特征在于,包括:
清洗支架,包括顶支架、侧支架和底支架;
设置于顶支架上的顶部喷头,用于清洗常压炉管工艺腔的封闭端外壁;
设置于侧支架上的侧部喷头,用于清洗常压炉管工艺腔的外侧壁;
设置于底支架上的底部喷头,用于清洗常压炉管工艺腔的内壁;
设置于所述清洗支架上的清洗枪,用于插入常压炉管工艺腔的排气端内对排气端的内壁进行清洗。
2.如权利要求1所述的带清洗枪的竖式清洗机,其特征在于,所述清洗枪对应于常压炉管工艺腔的排气端的位置相应设置于所述侧支架上。
3.如权利要求1所述的带清洗枪的竖式清洗机,其特征在于,所述清洗枪的长度是所述排气端的长度的2至4倍,所述清洗枪的直径小于所述排气端的内径。
4.如权利要求1所述的带清洗枪的竖式清洗机,其特征在于,所述清洗枪的侧壁上均匀分布有多个喷嘴。
5.如权利要求4所述的带清洗枪的竖式清洗机,其特征在于,所述清洗枪为圆柱形,沿所述清洗枪的径向和/或圆周截面均匀分布有多个喷嘴。
6.如权利要求5所述的带清洗枪的竖式清洗机,其特征在于,沿所述清洗枪的圆周截面每隔90度分布一个喷嘴。
7.如权利要求1所述的带清洗枪的竖式清洗机,其特征在于,所述清洗枪的数量与所述排气端的数量对应。
8.如权利要求1所述的带清洗枪的竖式清洗机,其特征在于,还包括一设置于排气端的卡箍,用于固定插入所述排气端内的清洗枪。
9.如权利要求1所述的带清洗枪的竖式清洗机,其特征在于,所述顶部喷头、侧部喷头和底部喷头的数量分别为多个。
10.如权利要求1所述的带清洗枪的竖式清洗机,其特征在于,所述清洗枪采用聚丙烯材质。
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