[发明专利]焊线形成方法及其焊线设备在审
申请号: | 201410110894.X | 申请日: | 2014-03-24 |
公开(公告)号: | CN104934337A | 公开(公告)日: | 2015-09-23 |
发明(设计)人: | 林伟胜;江连成;洪隆棠;叶孟宏;朱育德 | 申请(专利权)人: | 矽品精密工业股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60;B23K20/10 |
代理公司: | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人: | 程伟;王锦阳 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 线形 成方 及其 设备 | ||
技术领域
本发明涉及一种打线制程,尤指一种焊线形成方法及其焊线设备。
背景技术
于现有的半导体封装技术中,是藉由打线技术(即透过金线或铜线等)将焊线由芯片电性连接至如导线架或封装基板的承载件,该承载件再藉由如焊球的导电组件电性连接至如电路板的外部装置。
现有打线技术(wire bonding)可藉由超音速振动状态,由钢嘴形成最初球体在半导体装置或承载件上,以进行球端加压(ball bond)作业,使焊垫表面与球端相互固接,再由该球体延伸线体至另一半导体装置或承载件的焊垫表面上,以进行接点加压(bond)作业,最后再以钢嘴将多余的焊线剪断。
如图1A所示,其为现有打线设备1进行打线制程的剖视示意图,该打线设备1包括一如钢嘴的焊件10与一线夹11。于进行打线制程的球端加压作业时,一焊线6穿过该焊件10的穿线孔100,且该线夹11用于夹固该焊线6,再利用该焊件10使该焊线6形成一球端60于一芯片8的焊垫80上。待加压该球端60以使该球端60固接于该焊垫80上后,再拉伸该焊线6至一承载件9的焊垫90表面上。
接着,进行接点加压作业。如图1B所示,将该线夹11打开,使该焊线6与该焊垫90电性连接。接着,如图1C至图1D所示,关闭该线夹11以夹固该焊线6,再向上移动该焊件10(如图1B所示的箭头方向A),以拉断该焊线6,而使保留于该打线设备1上的焊线6’产生线尾6a,且该线尾6a伸出该焊件10的下端10a,以准备进行下一次的打线制程的球端加压作业。
然,于进行现有接点加压作业后,该焊线6’往往未产生该线尾6a,如图1D’所示,即短尾(short tail)现象,致使无法进行下一次的球体加压作业。
此外,目前当发生短尾现象时,需以人工方式进行修补,具体地,先将该打线设备1切换为手动模式,再以人工重新穿线,接着测试打线运作的状态,之后手动清除多余的线尾,再将该打线设备1切换为自动模式,最后确认打线品质,所以极为耗时且会增加制作成本。
因此,如何克服现有技术中的种种问题,实已成目前亟欲解决的课题。
发明内容
鉴于上述现有技术的种种缺失,本发明的目的为提供一种焊线形成方法及其焊线设备,不仅能省时,且能大幅降低制作成本。
本发明的焊线设备包括:焊件,其具有相对的第一侧与第二侧、及连通该第一侧与第二侧的通孔,该通孔用于收纳焊线;以及震荡系统,用于带动该焊件,使该焊件产生震荡。
本发明还提供一种焊线形成方法,包括:提供一焊件,其具有相对的第一侧与第二侧、及连通该第一侧与第二侧的通孔,且该通孔中穿设有未凸出该第一侧的焊线;以及朝该第二侧的方向移动该焊件,且震荡该焊件,使该焊线伸出该第一侧。
前述的焊线形成方法中,藉由一震荡系统带动该焊件,使该焊件产生震荡。
前述的焊线形成方法及其焊线设备中,该通孔为锥形孔。
前述的焊线形成方法及其焊线设备中,该震荡系统为超音波震荡系统。
前述的焊线形成方法及其焊线设备中,还包括固线装置,例如真空吸附器、磁性吸附器或夹固件,以固定或松开该焊线。另外,当移动该焊件时,朝该第一侧的方向移动该固线装置。
由上可知,本发明的焊线形成方法及其焊线设备,藉由震荡该焊件的方式,使该焊线伸出该焊件的第一侧,以达到短尾自动修复的目的,所以相较于现有人工修补方式,本发明的焊线形成方法不仅能省时,且能大幅降低制作成本。
附图说明
图1A为现有打线制程的球端加压作业的剖视示意图;
图1B至图1D为现有打线作业的接点加压作业的剖视示意图;其中,图1D’为图1D的实际情况;
图2A至图2C为本发明的焊线形成方法的第一实施例的剖视示意图;以及
图3A至图3C为本发明的焊线形成方法的第一实施例的剖视示意图。
符号说明
1 打线设备
10,20 焊件
10a 下端
100 穿线孔
11 线夹
2,3 焊线设备
20a 第一侧
20b 第二侧
200 通孔
21,31 固线装置
22 震荡系统
4,5,6,6’ 焊线
4a 第一端
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造