[发明专利]一种基于正交移相共轭干涉仪方法的液晶型光学器件相位检测方法

权利要求书

1.一种基于正交移相共轭干涉仪方法的液晶型光学器件相位检测方法，其特征在于，在移相干涉技术中将入射光正交偏振分解为一路移相参考臂和一路信号臂从而共光路入射进入液晶光学器件进行液晶调制相位的检测，并采用共轭光学系统将液晶光学器件出射端与面阵探测器成相面共轭。

2.根据权利要求1所述的基于正交移相共轭干涉仪方法的液晶型光学器件相位检测方法，其特征在于，偏振方向由半波片控制的线偏振激光器发出的激光，经偏振分光棱镜分束，透射出p光和s光 ，所述透射的p光经快轴与x轴夹角为45°的第一1/4波片后为左旋圆偏振光，经反射镜反射回第一1/4波片后为s光，再次经所述偏振分光棱镜后反射出的该路光束为所述信号臂；所述透射的s光经快轴与X轴夹角为45°的第二1/4波片后，压电陶瓷反射镜反射并再次穿过第二1/4波片后成为p光，透射过所述偏振分光棱镜后该路光束为所述参考臂。

3.根据权利要求2所述的基于正交移相共轭干涉仪方法的液晶型光学器件相位检测方法，其特征在于，所述参考臂上的压电陶瓷反射镜产生精确的亚微米级的移动，从而在两个臂上产生正交线偏振的相移。

4.根据权利要求2或3所述的基于正交移相共轭干涉仪方法的液晶型光学器件相位检测方法，其特征在于，对于透射式液晶光学器件的检测，让液晶分子长轴方向或偏振方向与s光偏振方向平行，当液晶驱动器施加电压给透射式液晶光学器件后，液晶分子长轴将沿电场方向转动，从而在入射s光上引入附加相移，而对于入射到所述透射式液晶光学器件的p光则不会引入附加相移，由此实现了正交偏振信号光与参考光的非等效的相位调制。

5.根据权利要求4所述的基于正交移相共轭干涉仪方法的液晶型光学器件相位检测方法，其特征在于，对于强衍射器件，采用共轭光学系统将透射式液晶光学器件出射端与面阵探测器成相面共轭，使从透射式液晶光学器件出射端衍射的各级光束经所述共轭光学系统后再次在面阵探测器感光面上复现，而对于没有相位调制的p偏振光，同样经过所述共轭光学系统后入射到面阵探测器感光面上，在面阵探测器前设置偏振方向与X轴成一定夹角的检偏器，从而使s光和p光在检偏器起偏方向上实现干涉，面阵探测器对该干涉条纹进行采集，利用移相干涉技术可复原液晶的调制相位。

6.根据权利要求5所述的基于正交移相共轭干涉仪方法的液晶型光学器件相位检测方法，其特征在于，对于反射式液晶光学器件的调制相位检测，与透射式液晶光学器件的调制相位检测的不同之处在于：在所述反射式液晶光学器件前面放入分束器。

7.根据权利要求6所述的基于正交移相共轭干涉仪方法的液晶型光学器件相位检测方法，其特征在于，为提高干涉图提取效果，对所述分束器入射面镀增透膜，所述分束器透射面为分光膜。