[发明专利]一种实验室用感应等离子处理设备的设计

权利要求书

1.一种实验室用感应等离子处理设备的设计，由陶瓷支架、感应器、O型橡胶密封圈、圆形底座以及侧面带进气孔的大小头敞开式石英管组成，其特征是，所述设备可从上方小头抽真空且侧面带进气孔的大小头敞开式石英管作为反应室，该石英管内置于圆形底座和感应器内，操作方便，适用于实验室使用。

2.根据权利要求1所述的实验室用感应等离子处理设备的设计，其特征是，所述石英管为大小头敞开式、侧面带进气孔、可从小头抽真空，作为反应室置于圆形底座和感应器的内部。

3.根据权利要求1所述的实验室用感应等离子处理设备的设计，其特征是，所述石英管的侧面进气孔与小头出气孔内径为5～6mm。

4.根据权利要求1所述的实验室用感应等离子处理设备的设计，其特征是，所述石英管与圆形底座接触处使用O型橡胶密封圈密封。

5.根据权利要求1所述的实验室用感应等离子处理设备的设计，其特征是，所述石英管内真空度为1.5～3kPa。

6.根据权利要求1所述的实验室用感应等离子处理设备的设计，其特征是，所述圆形底座上表面与石英管进气孔距离为15～20mm。

7.根据权利要求4所述的实验室用感应等离子处理设备的设计，其特征是，所述O型橡胶密封圈在圆形底座与石英管间为过盈配合。

8.根据权利要求1所述的实验室用感应等离子处理设备的设计，其特征是，所述感应器由铜质空心管弯制成3～4匝，内径300～500mm。

9.根据权利要求1所述的实验室用感应等离子处理设备的设计，其特征是，所述感应器的震荡频率为2.5～5MHz。

10.根据权利要求1所述的实验室用感应等离子处理设备的设计，其特征是，所述陶瓷支架顶部高出感应器底部5～10mm。