[发明专利]用太赫兹波获取样本信息的信息获取装置和信息获取方法

说明书

技术领域

实施例的一个公开方面涉及一种通过使用太赫兹波获取样本的信息的信息获取装置和信息获取方法。

背景技术

近年来，使用具有30GHz至30THz的范围内的频率的电磁波（所谓的太赫兹波）的各种检查技术得到了发展。日本专利No.4046158描述了一种通过使用太赫兹波的透射性来执行无损检查的测量方法。该方法用太赫兹波的超短脉冲照射样本，检测来自该样本的反射波以获得时间波形，并从该时间波形检查样本的每层的配置和状态。

如P.U.Jepsen等人在Optics Express,(2007),15,14717中所指示的，可以详细地检查时间波形的峰值波形，并且可以获得界面附近的位置处的与峰值波形相应的复折射率光谱。已知，许多材料在太赫兹波的频带中具有特定吸收性，从而提供对于材料分析新方法的预期。此外，日本专利公开No.2011-112548公开了一种测量活体样本的前表面对于太赫兹波的折射率分布并且显现该结果的技术。这样的使用太赫兹波的检查技术提供对于医疗用途的应用的预期，医疗用途的应用比如是使用其中存活组织的折射率和反射率根据部位和状态（正常细胞或肿瘤细胞）而变化的现象的病理诊断。

在用反射系统进行测量时，除了样本反射的太赫兹波之外，还测量反射镜反射的太赫兹波，并且通过使用这些太赫兹波的时间波形来获取样本的信息。然而，如果样本的前表面和反射镜的前表面的位置不同，或者如果太赫兹波的强度在每一次测量时都有变化，则不能进行正确的比较，因此，测量精度可能降低。为了解决这个问题，使用通过使用透射太赫兹波的板形透射构件进行测量的方法。这是在透射构件接触样本的同时用太赫兹波通过透射构件来照射样本的方法。

过去，基于透射构件在平面中具有均匀厚度的假定，执行各种类型的测量。然而，难以制造在平面中具有均匀厚度的透射构件。预期厚度可能不同于在实际测量位置处的厚度，或者透射构件的厚度可能在太赫兹波的每一个照射位置处都有变化。因此，难以一直满足当前预期的精度。

发明内容

根据实施例的一方面，一种获取样本的信息的信息获取装置包括：照射单元，被配置为通过与样本接触的透射构件用太赫兹波照射样本的照射位置；检测单元，被配置为检测透射构件反射的太赫兹波和样本反射的太赫兹波；波形获取单元，被配置为通过使用检测单元的检测结果来获取透射构件反射的太赫兹波的时间波形和样本反射的太赫兹波的时间波形；以及信息获取单元，被配置为通过使用透射构件反射的太赫兹波的时间波形、样本反射的太赫兹波的时间波形、及与透射构件在照射位置处的厚度相关的信息来获取样本的信息。

根据以下参照附图对示例性实施例的描述，本公开的更多特征将变得清楚。

附图说明

图1是说明根据实施例的测量期间的太赫兹波的路径的图示。

图2是说明根据示例1的信息获取装置的配置的图示。

图3A是说明根据示例1的样本和透射构件的布置的图示。

图3B是说明根据示例1的样本和透射构件的布置的透视图。

图4A是说明根据示例1的由镜面反射的太赫兹波的时间波形的图示。

图4B是说明根据示例1的在仅具有透射构件的区域中反射的太赫兹波的时间波形的图示。

图4C是说明根据示例1的在布置有样本的区域中反射的太赫兹波的时间波形的图示。

图5是说明根据示例1的测量过程的示例的流程图。

图6A是根据示例1的透射构件的厚度的误差的分布图。

图6B是在示例1中获取的折射率光谱。

图6C是在校正透射构件的厚度之前0.8THz的折射率的分布图。

图6D是在校正透射构件的厚度之后0.8THz的折射率的分布图。

图7是说明根据示例3的信息获取装置的配置的图示。

图8是说明根据示例4的测量过程的流程图。

图9是说明测量期间的窗厚度的误差的分布和平均的图示。

图10是说明根据示例5的测量过程的流程图。

图11是说明根据示例6的信息获取装置的图示。

图12A是说明根据示例2的样本和透射构件的布置的图示。

图12B是说明根据示例2的壳体内部的配置的图示。

图13A是在示例2中获取的折射率光谱。

图13B是在示例2中获取的吸收系数光谱。

具体实施方式

下面参照附图描述本公开的实施例。