[发明专利]一种光加热补偿镜及其使用方法

权利要求书

1.一种光加热补偿镜，其特征在于：它包括镜体（1）、激光衰减器（2）、激光扩束系统（3）和光阑（4）；激光扩束系统由一块凹透镜（5）和一块凹面镜（6）组成；

镜体（1）、激光衰减器（2）、凹透镜（5）、凹面镜（6）从左至右依次设置；

镜体的中心开有通孔，激光从于镜体左侧的前表面穿过通孔后，再经激光衰减器（2）、凹透镜（5）至凹面镜（6）的反射面、再由凹面镜（6）反射至镜体（1）右侧的后表面；

光阑（4）由一个大圆环（7）、一个小圆环（8）同轴设置而成，大圆环（7）的内环直径和小圆环（8）的外环直径可以按需要进行调整；

光阑（4）设置于镜体（1）的右侧后表面、位于镜体（1）与凹面镜（6）之间。

2.按照权利要求1所述光加热补偿镜，其特征在于：所述镜体两面光学抛光，其左侧的前表面镀制高反膜，右侧的后表面镀制高吸收膜。

3.按照权利要求1所述光加热补偿镜，其特征在于：激光穿过通孔后经光阑（4）的透光区域至激光衰减器（2）。

4.按照权利要求1所述光加热补偿镜，其特征在于：大圆环（7）和小圆环（8）间通过1-6个细连接杆（9）相互固定连接。

5.按照权利要求1或2所述光加热补偿镜，其特征在于：镜体（1）、凹透镜（5）、凹面镜（6）均为圆形，且同轴设置。

6.一种权利要求1-5任一所述光加热补偿镜的使用方法，其特征在于：在激光照射到镜体（1）上使镜体（1）的前表面吸收激光能量产生温升的同时，让部分激光透过镜体（1）的中心孔后依次经激光衰减器（2）调节热补偿能量、经由凹透镜（5）和凹面镜（6）组成的激光扩束系统（3）调节热补偿光束直径和经由光阑（4）调节热补偿加热范围后照射到镀有高吸收膜的镜体（1）背面进行热补偿。