[发明专利]振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体无效
申请号: | 201410116009.9 | 申请日: | 2014-03-26 |
公开(公告)号: | CN104079256A | 公开(公告)日: | 2014-10-01 |
发明(设计)人: | 山田明法;吉田周平 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | H03H9/02 | 分类号: | H03H9/02;H03H9/19 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 李辉;马建军 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 振动 元件 振荡器 电子设备 以及 移动 | ||
1.一种振动元件,其特征在于,该振动元件包含:
基部;以及
一对振动臂,它们在俯视时从所述基部起在第1方向延伸,沿着与所述第1方向垂直的第2方向排列,
所述振动臂包含:
施重部;以及
臂部,其在俯视时配置于所述施重部与所述基部之间,
所述振动元件具有基本振动模式,在该基本振动模式下所述一对振动臂交替地反复沿着所述第2方向彼此接近、离开而进行弯曲振动,
在设所述振动臂的沿着所述第1方向的长度为L,所述施重部的沿着所述第1方向的长度为H时,满足如下关系,
在设所述基本振动模式的谐振频率为ω0,与所述基本振动模式不同的其它振动模式的谐振频率为ω1时,满足如下关系,
2.根据权利要求1所述的振动元件,其中,
在所述振动臂的彼此处于正反关系的一对主面中的至少一个主面设有槽,
在设所述振动臂的厚度为T,所述槽的深度为t时,满足如下关系,
在所述振动臂的所述一个主面中,
当设在俯视时所述振动臂的一个外缘与所述槽的所述一个外缘侧的缘部之间的沿着所述第2方向的宽度、以及所述振动臂的另一个外缘与所述槽的所述另一个外缘侧的缘部之间的沿着所述第2方向的宽度为W[μm]时,满足如下关系,
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