[发明专利]九头激光平面度测量仪

权利要求书

1.一种九头激光平面度测量仪，其特征在于：设置有架体和激光发射单元，所述架体设置有基座和用于放置测试样品的测试平台，所述基座位于所述测试平台下方，所述激光发射单元装配于所述基座，所述测试平台位于所述激光发射单元上方，激光发射单元自下方发射激光对测试平台上的测试样品进行平面度检测；

所述激光发射单元由九个激光发射器构成，九个激光发射器分别固定于所述基座，每个激光发射器距离测试平台之间的距离相等。

2.根据权利要求1所述的九头激光平面度测量仪，其特征在于：九个激光发射器呈三行三列的矩阵形式排列于所述基座。

3.根据权利要求1所述的九头激光平面度测量仪其特征在于：还设置用于对所述激光发射器进行位置调整的调整机构，所述激光发射器通过所述调整机构固定于所述基座。

4.根据权利要求3所述的九头激光平面度测量仪，其特征在于：所述调整机构由圆心呈直线排列的多个第一通孔、圆心呈直线排列的多个第二通孔、三个平行的横向装配条及设置于每个横向装配条上的圆心呈直线排列的多个第三通孔构成，过多个所述第一通孔圆心的直线与所述横向装配条垂直；

所述第一通孔、所述第二通孔分别设置于所述基座，每个横向装配条通过一个第一通孔和一个第二通孔固定，所述激光发射器固定于所述横向装配条。

5.根据权利要求4所述的九头激光平面度测量仪，其特征在于：每三个激光发射器装配于一个横向装配条。

6.根据权利要求5所述的九头激光平面度测量仪，其特征在于：还设置有九个激光装配治具，每个激光发射器固定于一个激光装配治具，所述激光发射器固定于所述激光装配治具，所述激光装配治具固定于所述横向装配条。

7.根据权利要求5所述的九头激光平面度测量仪，其特征在于：所述激光装配治具设置有装配槽孔，所述装配槽孔通过螺钉与所述第三通孔固定连接。

8.根据权利要求7所述的九头激光平面度测量仪，其特征在于：还设置有导板，所述导板设置有九个呈矩阵排列的透射窗，所述透射窗的位置与所述激光发射器的位置相对应。

9.根据权利要求1所述的九头激光平面度测量仪，其特征在于：所述架体还设置有基准平面和多个相互之间平行的固定基准，所述固定基准一端与所述基座固定连接，所述固定基准另一端与所述基准平面固定连接，所述测试平台设置于所述基准平面。