[发明专利]压电元件模块、以及压电元件模块的制造方法有效
| 申请号： | 201410116108.7 | 申请日： | 2014-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN104078452B | 公开（公告）日： | 2017-01-11 |
| 发明（设计）人： | 古林智一;西胁学 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H01L25/03 | 分类号： | H01L25/03;B06B1/06;B41J2/045 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 舒艳君,李洋 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压电 元件 模块 以及 制造 方法 | ||
1.一种压电元件模块，其特征在于，
在同一基板上具备：具有第一压电体层的第一压电元件、和具有与所述第一压电体层不同的第二压电体层的第二压电元件，
所述第一压电体层的d常量比所述第二压电体层的d常量大。
2.根据权利要求1所述的压电元件模块，其特征在于，
所述第一压电元件与所述第二压电元件被并列设置在同一平面上。
3.一种超声波换能器，其特征在于，
具备权利要求1或者2所述的压电元件模块，所述压电元件模块的第一压电体层的g常量比所述压电元件模块的第二压电体层的g常量小，将所述第一压电元件作为发送部，将所述第二压电元件作为接收部。
4.一种超声波设备，其特征在于，具备：
基板，其具有开口；和
被设置在所述基板上的权利要求3所述的超声波换能器。
5.一种液体喷射头，其特征在于，具备：
流路形成基板，其被设置有与喷射液体的喷嘴开口连通的压力产生室；和
被设置在该流路形成基板上的权利要求1或者2所述的压电元件模块。
6.一种液体喷射装置，其特征在于，
具备权利要求5所述的液体喷射头。
7.一种压电元件模块的制造方法，其特征在于，
该压电元件模块的制造方法为在同一基板上具备：具有第一压电体层的第一压电元件、和具有与所述第一压电体层不同的第二压电体层的第二压电元件，且所述第一压电体层的d常量比所述第二压电体层的d常量大的压电元件模块的制造方法，
具备：
将所述第一压电元件以及所述第二压电元件的任意一方的第一电极图案化为单个电极的工序；
涂覆所述第一压电元件以及所述第二压电元件的任意一方的压电体层并进行图案化的工序；
将所述第一压电元件以及所述第二压电元件的任意一方的第二电极设置为共用电极的工序；
将所述第一压电元件以及所述第二压电元件的另一方的第一电极图案化为单个电极的工序；
涂覆所述第一压电元件以及所述第二压电元件的另一方的压电体层并进行图案化的工序；以及
将所述第一压电元件以及所述第二压电元件的另一方的第二电极设置为共用电极的工序。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于精工爱普生株式会社，未经精工爱普生株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201410116108.7/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：半导体装置
- 下一篇：过电压保护元件及其制备方法
- 同类专利
- 专利分类
