[发明专利]SMA驱动的双稳态反射镜平动式光栅光调制器及其阵列

权利要求书

1.SMA驱动的双稳态反射镜平动式光栅光调制器，其特征在于包括： 

a基底； 

b基底之上形成的绝缘层； 

c位于绝缘层之上一定间距、由支撑梁支撑的可动平板，可动平板具有反射面，并由施加到支撑梁或的偏压驱动做垂直上下移动； 

d用于支撑可动平板的支撑梁，该支撑梁由梁体和支撑柱组成，梁体的两端通过支撑柱固定设置于绝缘层上，梁体的中部与可动平板固定连接，梁体的材料为形状记忆合金SMA； 

e一个固定光栅，该固定光栅罩于上述部件组成的结构单元之上，并与基底固定，固定光栅与绝缘层之间为可动平板移动的空间间隙； 

f驱动电路，通过电极引出线连接支撑梁，可产生不同幅度、不同频率的驱动电流。 

2.如权利要求1所述的SMA驱动的双稳态反射镜平动式光栅光调制器，其特征在于：所述支撑梁有两根，交叉为十字形，中部与可动平板相连，支撑梁位于可动平板下方。 

3.如权利要求1所述的SMA驱动的双稳态反射镜平动式光栅光调制器，其特征在于：构成所述支撑梁的材料有双层，上层为多晶硅，下层形状记忆合金SMA的材料为TiNi合金，固定光栅、可动平板材料为铝；绝缘层的材料为二氧化硅。 

4.如权利要求1至3中任一项所述的的SMA驱动的双稳态反射镜平动式光栅光调制器，其特征在于：固定光栅表面和可动平板之间的间距可变，在连接可动平板的弹性支撑梁不通过电流时，间距为nλ/2；而通过电流时，间距为(2n-1)λ/4。 

5.如权利要求1至4中任一项所述的SMA驱动的双稳态反射镜平动式光栅光调制器组成的光栅光调制器阵列，其特征在于：所述SMA驱动的双稳态反射镜平动式光栅光调制器组成的光栅光调制器阵列由至少2个SMA驱动的双稳态反射镜平动式光栅光调制器并列而成，其中每一个SMA驱动的双稳态反射镜平动式光栅光调制器均可在电流驱动装置控制下独立动作。