[发明专利]百叶窗式MEMS大转角可调闪耀光栅光调制器及其阵列

权利要求书

1.百叶窗式MEMS大转角可调闪耀光栅光调制器其特征在于：包括硅衬底以及设置于硅衬底上的绝缘层、可动框架、柔性梁、光栅镜面、双层梳齿驱动结构、弹性悬臂梁、偏压施加装置及多个柱子；所述光栅镜面通过弹性悬臂梁及可动框架悬空支撑于绝缘层上方，光栅镜面的一侧通过支撑梁和2个柱子固定在衬底表面,另一侧通过变形梁与可动框架连接，可动框架由柔性梁支撑在绝缘层上方，由双层梳齿驱动结构驱动，双层梳齿驱动结构由定齿和动齿组成，定齿通过柱子固定在衬底表面，动齿与可动框架是一体的，动齿布置在定齿上方，与定齿交错，所述偏压施加装置，可产生不同电平、不同频率的驱动电压施加在动齿与定齿之间，使动齿发生偏转和移动，带动可动框架，可动框架通过变形梁拉动光栅镜面，产生偏转。

2.根据权利要求1所述的百叶窗式MEMS大转角可调闪耀光栅光调制器，其特征在于：所述的双层梳齿驱动结构有两部分，分布在可动框架两侧，其一侧施加电压可以使可动框架通过变形梁拉动光栅镜面偏转，另一侧施加电压可以使光栅镜面的偏转回复。

3.根据权利要求1至2中任一项所述的百叶窗式MEMS大转角可调闪耀光栅光调制器阵列，其特征在于：所述的百叶窗式MEMS大转角可调闪耀光栅光调制器阵列由至少2个百叶窗式MEMS大转角可调闪耀光栅光调制器的光栅镜面并列而成，所有光栅镜面通过变形梁与可动框架连接，并处于可动框架范围内，共用一套梳齿驱动结构，双层梳齿驱动结构布局在有效衍射光栅面的外围可动框架的四个角上，多个百叶窗式MEMS大转角可调闪耀光栅光调制器在偏压施加装置控制下一起动作，形如百叶窗的开合。