[发明专利]一种不锈钢表面硅烷化处理膜的制备方法

权利要求书

1.一种不锈钢表面硅烷化处理膜的制备方法，其特征在于：采用硅烷化处理剂四氢化硅与参杂剂氢化磷形成的混合气体，通过化学气相沉积，在不锈钢表面形成一层无定型硅处理膜，所述的混合气体中，四氢化硅的体积百分比为95-99%，氢化磷的体积百分比为0.1-5%。

2.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于：所述的混合气体中，四氢化硅的体积百分比为99.5%，氢化磷的体积百分比为0.5%。

3.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于：所述的混合气体中，四氢化硅的体积百分比为96%，氢化磷的体积百分比为4%。

4.如权利要求1-3任一项所述的制备方法，其特征在于：所述方法的具体步骤如下：将需要表面处理的不锈钢罐放入化学气相沉积室，清除不锈钢表面水汽，将化学气相沉积室抽至真空，再将四氢化硅与氢化磷混合气体通入，气相沉积气压控制范围在0.1–500Pa，控制气相沉积温度在200-600℃，进行化学气相沉积，沉积时间0.5-12小时，沉积完成后，通入氮气，降至室温。

5.如权利要求4所述的制备方法，其特征在于：气相沉积气压4Pa，沉积温度320℃，气相沉积时间2小时。

6.如权利要求4所述的制备方法，其特征在于：相沉积气压100Pa，沉积温度410℃，气相沉积时间4.5小时。

7.如权利要求4所述的制备方法，其特征在于：气相沉积气压25Pa，沉积温度450℃，气相沉积时间6.8小时。

8.如权利要求4所述的制备方法，其特征在于：气相沉积气压400Pa，沉积温度500℃，气相沉积时间10小时。