[发明专利]分离上电极与冷却盘的装置有效
申请号: | 201410117683.9 | 申请日: | 2014-03-27 |
公开(公告)号: | CN103871936B | 公开(公告)日: | 2016-11-02 |
发明(设计)人: | 朱怀昊;季高明 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01J37/32 |
代理公司: | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人: | 吴世华;林彦之 |
地址: | 201210 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 分离 电极 冷却 装置 | ||
1.一种分离上电极与冷却盘的装置,其特征在于,包括分离臂、与所述分离臂连接的操作杆,当需要维护上电极时,操作人员操作所述操作杆时,所述分离臂匀速水平进入所述上电极与所述冷却盘之间的安装间隙后,以分离所述上电极与所述冷却盘。
2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述操作杆为一旋转杠杆,用于通过操作人员对其进行旋转控制,使所述分离臂匀速水平进入所述上电极与所述冷却盘之间的安装间隙。
3.根据权利要求2所述的装置,其特征在于,所述操作杆的中心轴与所述分离臂之间设置有一力矩转换机构,用于将所述操作杆的旋转力转换为所述分离臂的水平直行力。
4.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,还包括一安全收纳系统,用于在所述上电极被所述分离臂从所述冷却盘上分离下来后,收纳被分离的所述上电极。
5.根据权利要求4所述的装置,其特征在于,所述安全收纳系统包括安全托盘以及控制机构,所述安全托盘用于在控制机构的控制下,移动到适宜收纳被分离的所述上电极的位置上。
6.根据权利要求5所述的装置,其特征在于,所述安全托盘的边缘设置有若干个卡槽,用于在收纳被分离的所述上电极时,卡住被分离的所述上电极防止跌落。
7.根据权利要求5所述的装置,其特征在于,所述控制机构基于液压进行的控制机构。
8.一种分离上电极与冷却盘的装置,其特征在于,包括安全收纳系统,所述安全收纳系统包括安全托盘以及控制机构,当需要对所述上电极进行维护时,所述安全托盘用于在控制机构的控制下,移动到适宜收纳被分离的所述上电极的位置上,用于在所述上电极被所述分离臂从所述冷却盘上分离下来后,被所述安全托盘所收纳。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造