[发明专利]分离上电极与冷却盘的装置有效

专利信息
申请号: 201410117683.9 申请日: 2014-03-27
公开(公告)号: CN103871936B 公开(公告)日: 2016-11-02
发明(设计)人: 朱怀昊;季高明 申请(专利权)人: 上海华力微电子有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01J37/32
代理公司: 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 代理人: 吴世华;林彦之
地址: 201210 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 分离 电极 冷却 装置
【权利要求书】:

1.一种分离上电极与冷却盘的装置,其特征在于,包括分离臂、与所述分离臂连接的操作杆,当需要维护上电极时,操作人员操作所述操作杆时,所述分离臂匀速水平进入所述上电极与所述冷却盘之间的安装间隙后,以分离所述上电极与所述冷却盘。

2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述操作杆为一旋转杠杆,用于通过操作人员对其进行旋转控制,使所述分离臂匀速水平进入所述上电极与所述冷却盘之间的安装间隙。

3.根据权利要求2所述的装置,其特征在于,所述操作杆的中心轴与所述分离臂之间设置有一力矩转换机构,用于将所述操作杆的旋转力转换为所述分离臂的水平直行力。

4.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,还包括一安全收纳系统,用于在所述上电极被所述分离臂从所述冷却盘上分离下来后,收纳被分离的所述上电极。

5.根据权利要求4所述的装置,其特征在于,所述安全收纳系统包括安全托盘以及控制机构,所述安全托盘用于在控制机构的控制下,移动到适宜收纳被分离的所述上电极的位置上。

6.根据权利要求5所述的装置,其特征在于,所述安全托盘的边缘设置有若干个卡槽,用于在收纳被分离的所述上电极时,卡住被分离的所述上电极防止跌落。

7.根据权利要求5所述的装置,其特征在于,所述控制机构基于液压进行的控制机构。

8.一种分离上电极与冷却盘的装置,其特征在于,包括安全收纳系统,所述安全收纳系统包括安全托盘以及控制机构,当需要对所述上电极进行维护时,所述安全托盘用于在控制机构的控制下,移动到适宜收纳被分离的所述上电极的位置上,用于在所述上电极被所述分离臂从所述冷却盘上分离下来后,被所述安全托盘所收纳。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海华力微电子有限公司,未经上海华力微电子有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201410117683.9/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top