[发明专利]功率控制器通信方式自动切换方法及系统

说明书

技术领域

本发明涉及半导体加工制造技术领域，更具体地说，涉及一种功率控制器通信方式自动切换方法及系统。

背景技术

半导体设备领域中，很多企业仍采用传统的模拟控制方式来进行电加热控制，但无论从控制精度、控制数据监测或是控制系统网络等方面,还是从与其他模块进行数据交互的便利性方面而言，数字化产品均能更好的满足各个生产领域的要求，因而全数字式功率控制器作为电力控温组件逐渐得到了更广泛的应用。

SCR功率控制器是通过控制信号的输入，控制串在主回路中的（SCR）晶闸管模块，改变主回路中电压的导通与关断，从而进行电压或功率的调节，进而达到控温的目的。但即使应用数字功率控制器，大部分设备也只选用其中一种通信方式进行通讯，而这种通信方式存在着安全隐患。当因故障或干扰引起通讯不畅时，势必影响设备正常运行，进而可能导致工艺错误，降低了设备的安全性和可靠性。

因此，研发人员期望获得一种具有多种通信方式、并可自动切换的功率控制器。

发明内容

本发明的目的在于提供一种功率控制器通信方式自动切换方法，其可在模拟量通信和数字量通信之间切换，从而避免通讯不畅引起的工艺或设备问题。

为实现上述目的，本发明提供一种技术方案如下：

一种功率控制器通信方式自动切换方法，用于控制功率控制器与一PLC器件的通信模块以及模拟量输出模块之间的通信，其中，功率控制器的通信方式至少包括：模拟量通信方式和数字量通信方式，方法包括如下步骤：a)、在数字量通信方式下，将设定功率值和反馈功率值输出至通信模块；b)、PLC器件的CPU根据设定功率值和反馈功率值的差异判断功率控制器是否通信不畅；c)、若PLC器件的CPU判定功率控制器通信不畅，则指示一切换控制单元切换功率控制器的通信方式；d)、切换控制单元进行切换动作，将功率控制器的通信方式切换至模拟量通信方式；其中，数字式通信方式中，功率控制器经由数字量输入给定端口与通信模块以数字信号进行通信；模拟量通信方式中，功率控制器经由模拟量输入给定端口与模拟量输出模块以模拟信号进行通信。

优选地，PLC器件的CPU计算设定功率值和反馈功率值之间差异占设定功率值的百分比，若差异的百分比绝对值大于第一百分比阈值，并且差异的百分比绝对值大于第一百分比阈值的状态维持大于第一时间阈值后，PLC器件的CPU判定功率控制器通信不畅。

本发明的另一目的在于提供一种功率控制器通信方式自动切换系统，其可在功率控制器与PLC通信不畅时，使得功率控制器由数字量通信方式切换至模拟量通信方式。

本实现上述目的，本发明提供另一技术方案如下：

一种功率控制器通信方式自动切换系统，包括一功率控制器以及一PLC器件，PLC器件至少包括：通信模块，其与功率控制器以数字信号进行通信，接收功率控制器输出的设定功率值和反馈功率值；CPU，其根据设定功率值和反馈功率值之间的差异判断功率控制器是否通信不畅；模拟量输出模块，其与功率控制器以模拟信号进行通信；其中，自动切换系统还包括：切换控制单元，根据CPU对功率控制器通信不畅的判断，控制功率控制器选择与模拟量输出模块以模拟信号通信。

优选地，切换控制单元包括PLC器件的数字量输出模块和一继电器，继电器的常开触点两端分别连接功率控制器的输入切换端口X2与公共端M，数字量输出模块控制继电器的通断状态，常开触点打开时，功率控制器与通信模块通信，常开触点闭合时，功率控制器选择与模拟量输出模块通信。

本发明提供的功率控制器通信方式自动切换方法及系统，可在模拟量通信和数字量通信之间切换，使得功率控制器与控制PLC之间始终保持可靠的通信，从而避免功率控制器通讯不畅引起的工艺或设备问题。该系统结构简单、实施便利、成本低，便于推广应用。

附图说明

图1示出本发明第一实施例提供的功率控制器通信方式自动切换系统结构示意图；

图2示出本发明第二实施例提供的功率控制器通信方式自动切换方法流程示意图。

具体实施方式

下面结合附图，对本发明的具体实施方式作进一步的详细说明。

需要说明的是，本发明实施中采用的功率控制器，至少包括数字量输入给定端口、模拟量输入给定端口、切换控制输入端口，其中，功率控制器经由其数字量输入给定端口可与外部器件进行数字量通信，经由其模拟量输入给定端口可与外部器件进行模拟量通信，其输入切换端口用于改变功率控制器的配置参数，配置参数可选择功率控制器进行数字量通信或是模拟量通信。