[发明专利]原子力显微镜探针装置有效
| 申请号： | 201410118223.8 | 申请日： | 2014-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN103852600A | 公开（公告）日： | 2014-06-11 |
| 发明（设计）人： | 白英英;张守龙;王伟 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01Q60/38 | 分类号： | G01Q60/38 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;林彦之 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 原子 显微镜 探针 装置 | ||
1.一种原子力显微镜的探针装置，其特征在于，包括：
探测针，其包括微悬臂以及设于所述微悬臂一端的针尖，所述微悬臂远离所述针尖的另一端的侧表面形成有狭槽；以及
探针座，其包括：
吸附件，其具有吸附面；所述吸附面上开设有与抽真空部件连通的导气槽，用于使所述探测针吸附于所述吸附面；以及
定位件，其包括本体以及设于所述本体下端的狭槽贴片，所述狭槽贴片与所述狭槽的形状相配合；所述本体滑设于所述吸附件的两侧且于第一位置和第二位置之间移动以使所述狭槽贴片嵌入所述狭槽或从所述狭槽中分离。
2.根据权利要求1所述的原子力显微镜探针装置，其特征在于，所述本体包括导引件和连接件，所述连接件设于所述吸附件的两侧并连接所述导引件和所述狭槽贴片；所述导引件滑动地设置于所述吸附件的顶面。
3.根据权利要求1所述的原子力显微镜探针装置，其特征在于，所述吸附件的侧面或顶面设有容置槽；所述本体包括导引件和连接件，所述连接件设于所述吸附件的两侧并连接所述导引件和所述狭槽贴片；所述导引件滑动地设置于所述容置槽中。
4.根据权利要求1至3任一项所述的原子力显微镜探针装置，其特征在于，所述本体和所述狭槽贴片为一体成形。
5.根据权利要求1所述的原子力显微镜探针装置，其特征在于，所述狭槽形成于所述另一端的侧表面的中心线上。
6.根据权利要求5所述的原子力显微镜探针装置，其特征在于，所述狭槽的形状为U形。
7.一种如权利要求1所述的原子力显微镜探针装置的使用方法，其特征在于，包括以下步骤：
利用所述抽真空部件将所述探测针吸附于所述吸附面；以及
施加外力于所述定位件，将其本体从所述第一位置移动至所述第二位置，以使所述狭槽贴片嵌入所述狭槽。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海华力微电子有限公司，未经上海华力微电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201410118223.8/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：计量箱及其地线挂接方法和电流互感器的更换方法
- 下一篇：半导体装置
