[发明专利]成膜装置、气体供给装置以及成膜方法

权利要求书

1.一种成膜装置，在该成膜装置中，依次向真空气氛的处理室内的基板供给相互反应的多种反应气体，使反应生成物层叠而形成薄膜，该成膜装置的特征在于，包括：

气体供给路径，其根据反应气体的种类设置，用于将上述反应气体供给到处理室内；

储存部，其设于上述气体供给路径，用于通过储存气体提高其内部压力；

阀，其分别设于上述气体供给路径的位于上述储存部的上游侧的部位及位于上述储存部的下游侧的部位；

吹扫气体供给部，其用于向上述储存部供给吹扫气体；

控制部，其用于执行成膜步骤和吹扫步骤，

在该成膜步骤中，针对多种反应气体中的各种反应气体，以使反应气体储存于上述储存部而升压之后、从该储存部向处理室内排出的方式依次进行操作上述阀的动作，

该吹扫步骤在该成膜步骤之后进行，在该吹扫步骤中，以使上述吹扫气体储存于各储存部而使各储存部升压至比上述成膜步骤中的对应的储存部在升压时的压力高的压力、然后使上述吹扫气体从该储存部向处理室内排出的方式进行操作上述阀的动作，并反复进行多次该动作。

2.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

上述吹扫气体供给部以能够向各气体供给路径的位于上述储存部的上游侧的部分供给吹扫气体的方式设置。

3.根据权利要求1或2所述的成膜装置，其特征在于，

该成膜装置包括用于向上述处理室内供给清洁用流体的清洁用流体供给部，

在将清洁用流体供给到处理室内之后且在向储存部内供给反应气体之前，向该储存部供给上述吹扫气体。

4.根据权利要求1或2所述的成膜装置，其特征在于，

从利用上述吹扫气体升压后的储存部向处理室内排出吹扫气体之后，为了再次利用吹扫气体使储存部内升压而将靠储存部的下游侧的阀关闭时的储存部内的压力被设定为储存部内由于吹扫气体而升压时的压力的80％以上且90％以下。

5.一种气体供给装置，该气体供给装置用于成膜装置，在该成膜装置中，依次向真空气氛的处理室内的基板供给相互反应的多种反应气体，使反应生成物层叠而形成薄膜，该气体供给装置的特征在于，包括：

气体供给路径，其根据反应气体的种类设置，用于将上述反应气体供给到处理室内；

储存部，其设于上述气体供给路径，用于通过储存气体提高其内部压力；

阀，其分别设于上述气体供给路径的位于上述储存部的上游侧的部位及位于上述储存部的下游侧的部位；

吹扫气体供给部，其用于向上述储存部供给吹扫气体；

控制部，其用于执行成膜步骤和吹扫步骤，

在该成膜步骤中，针对多种反应气体中的各种反应气体，以使反应气体储存于上述储存部而升压之后、从该储存部向处理室内排出的方式依次进行操作上述阀的动作，

该吹扫步骤在该成膜步骤之后进行，在该吹扫步骤中，以使上述吹扫气体储存于各储存部而使各储存部升压至比上述成膜步骤中的对应的储存部在升压时的压力高的压力、然后使上述吹扫气体从该储存部向处理室内排出的方式进行操作上述阀的动作，并反复进行多次该动作。

6.一种成膜方法，在该成膜方法中，通过根据反应气体的种类设置的气体供给路径依次向真空气氛的处理室内的基板供给相互反应的多种反应气体，使反应生成物层叠而形成薄膜，该成膜方法的特征在于，包括成膜工序和吹扫工序，

在该成膜工序中，针对多种反应气体中的各种反应气体，依次进行向设于上述气体供给路径的储存部内储存反应气体、在该储存部内部压力上升之后、使该反应气体从该储存部向处理室内排出的动作；

该吹扫工序在该成膜工序之后进行，在该吹扫工序中，进行向各储存部内储存吹扫气体、使各储存部内的压力上升到比上述成膜工序中的对应的储存部在升压时的压力高的压力、然后使该吹扫气体从该储存部向处理室内排出的动作，反复进行多次此动作。

7.根据权利要求6所述的成膜方法，其特征在于，

该成膜方法包括向上述处理室内供给清洁用流体来进行清洁处理的工序，

上述吹扫工序在进行上述清洁的工序之后且进行成膜工序之前进行。

8.根据权利要求6或7所述的成膜方法，其特征在于，

从利用上述吹扫气体升压后的储存部向处理室内排出吹扫气体之后，为了再次利用吹扫气体使储存部内升压而将靠储存部的下游侧的阀关闭时的储存部内的压力被设定为储存部内由于吹扫气体而升压时的压力的80％以上且90％以下。