[发明专利]振动片及其制造方法

权利要求书

1.一种振动片的制造方法，其特征在于，包括：

对于具备基部、从所述基部起在第一方向上延伸的第一检测用振动臂以及第二检测用振动臂、从所述基部起在与所述第一方向为相反方向的第二方向上延伸的第一驱动用振动臂以及第二驱动用振动臂，且所述第一检测用振动臂以及所述第二检测用振动臂沿着与所述第一方向交叉的第三方向而排列配置，所述第一驱动用振动臂以及所述第二驱动用振动臂沿着所述第三方向而排列配置的振动片，对所述第一检测用振动臂以及所述第二检测用振动臂通电，在所述振动片中激发包含第一振动和第二振动的第一振动模式，并对所述第一振动模式的等效串联电阻R1进行测量的工序，其中，所述第一振动为，使所述第一驱动用振动臂以及所述第二驱动用振动臂沿着与包含所述第一方向以及所述第三方向的面交叉的面外方向且彼此向相反的方向进行弯曲振动的振动，所述第二振动为，使所述第一检测用振动臂以及所述第二检测用振动臂以与所述第一振动相反的相位且沿着所述面外方向彼此向相反的方向进行弯曲振动的振动；

对于所述振动片，对所述第一检测用振动臂以及所述第二检测用振动臂通电，在所述振动片中激发包含第三振动和第四振动的第二振动模式，并对所述第二振动模式的等效串联电阻R2进行测量的工序，其中，所述第三振动为，使所述第一驱动用振动臂以及所述第二驱动用振动臂沿着所述面外方向且彼此向相反的方向进行弯曲振动的振动，所述第四振动为，使所述第一检测用振动臂以及所述第二检测用振动臂以与所述第三振动相同的相位且沿着所述面外方向彼此向相反的方向进行弯曲振动的振动；

对所述第二振动模式的所述等效串联电阻R2相对于所述第一振动模式的所述等效串联电阻R1的比率r＝R2/R1进行计算，并实施所述振动片的适否判断的工序。

2.如权利要求1所述的振动片的制造方法，其特征在于，

还包括在所述第一检测用振动臂以及所述第二检测用振动臂中的至少一方的表面上形成膜体的工序。

3.如权利要求2所述的振动片的制造方法，其特征在于，

还包括对在所述第一检测用振动臂以及所述第二检测用振动臂中的至少一方的表面上所形成的膜体进行去除的工序。