[发明专利]加热装置组件和蒸镀设备

说明书

技术领域

本发明涉及用于蒸镀工艺的蒸镀设备，具体地，涉及一种加热装置组件和一种包括该加热装置组件的加热设备。

背景技术

在进行蒸镀工艺时，需要用到蒸镀设备。通常，蒸镀设备可以包括加热装置和设置在加热装置内的坩埚。将坩埚设置在加热装置的加热腔内之后，对坩埚内的材料进行加热。如图1中所示，加热装置包括加热腔10和设置在加热腔10内的加热件11。坩埚的形式多种多样，利用同一种加热腔对不同形状的坩埚进行加热时，容易使得某些形状的坩埚受热不均匀，从而导致坩埚内的材料发生喷溅现象或者导致坩埚内的材料发生分解。

如何使加热装置适用于不同型号的坩埚成为本领域及待机解决的技术问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种加热装置组件和一种包括该加热装置组件的蒸镀设备。利用所述加热装置组件可以获得多种不同结构的加热装置，从而适用于多种不同型号的坩埚。

为了实现上述目的，作为本发明的一个方面，提供一种加热装置组件，其中，该加热装置组件包括多个互相独立的加热部，每个所述加热部内均形成有加热腔，每个所述加热腔内均设置有相应的可独立控制的加热件，多个所述加热部包括具有上加热腔的上加热部、具有下加热腔的下加热部和至少一个具有备用加热腔的备用加热部，所述上加热部能够与所述下加热部组合，以形成加热装置，所述备用加热部能够与所述上加热部和/或所述下加热部组合以形成加热装置，所述备用加热腔的尺寸不同于所述上加热腔的尺寸和/或所述下加热腔的尺寸。

优选地，所述上加热部的下端面上设置有上定位件，所述下加热部的上端面上设置有下定位件，当所述上加热部与所述下加热部组合时，所述上定位件能够和所述下定位件配合，以使所述上加热腔与所述下加热腔对齐。

优选地，所述备用加热部的下端面上设置有所述上定位件，当所述备用加热部与所述下加热部组合时，所述上定位件能够和所述下定位件配合，以使所述备用加热腔与所述下加热腔对齐；或者，所述备用加热部的上端面上设置有所述下定位件，当所述备用加热部与所述上加热部组合时，所述上定位件能够和所述下定位件配合，以使所述备用加热腔与所述上加热腔对齐。

优选地，所述备用加热部能够设置在所述上加热部和所述下加热部之间。

优选地，所述上加热部的下端面上设置有上定位件，所述备用加热部的上端面上设置有中上定位件，所述备用加热部的下端面上设置有中下定位件，所述下加热部的上端面上设置有下定位件，所述上定位件能够与所述中上定位件配合，所述下定位件能够与所述中下定位件配合，使得当所述上加热部、所述备用加热部和所述下加热部组合成所述加热装置时，所述上加热腔、所述备用加热腔和所述下加热腔能够互相对齐。

优选地，所述加热装置组件还包括防喷盖，所述防喷盖上设置有多个第一通孔，在获得的所述加热装置中，所述防喷盖设置在位于最上方的所述加热部的开口处。

优选地，所述加热装置组件还包括冷却板，所述冷却板设置在所述防喷盖的一个端面上，所述冷却板上设置有与所述第一通孔一一对应的多个第二通孔。

优选地，该加热装置组件包括控制器与多个所述加热腔一一对应的多个热电偶，所述热电偶和所述加热件均与所述控制器相连，所述控制器根据所述热电偶测得的温度控制所述加热件。

优选地，每个所述加热腔沿长度方向的尺寸大于该加热腔沿宽度方向的尺寸，且每个所述加热腔沿长度方向的尺寸大于该加热腔沿高度方向的尺寸。

作为本发明的另一个方面，提供一种蒸镀设备，该蒸镀设备包括加热装置组件和坩埚，其中，所述加热装置组件为本发明所提供的上述加热装置组件，所述坩埚设置在所述加热装置的加热腔内，所述坩埚各部分的截面尺寸与所述加热装置的各加热腔的内部尺寸相对应。

优选地，每个所述加热腔的长度方向的尺寸大于该加热腔宽度方向的尺寸，且每个所述加热腔沿长度方向的尺寸大于该加热腔沿高度方向的尺寸，所述坩埚的截面形状与所述加热腔的截面形状相匹配，且所述坩埚沿长度方向的尺寸大于所述坩埚沿宽度方向的尺寸，所述坩埚沿长度方向的尺寸大于所述坩埚沿高度方向的尺寸。

优选地，每个加热腔的长度方向的尺寸大于该加热腔宽度方向的尺寸，且每个所述加热腔沿长度方向的尺寸大于该加热腔沿高度方向的尺寸，所述坩埚的截面形状与所述加热腔的截面形状相匹配，所述加热腔内设置有多个沿所述加热腔的长度方向排列的所述坩埚。

优选地，所述坩埚包括可拆卸地连接的上坩埚部和下坩埚部。