[发明专利]一种制备用于观察倒焊互连情况的制样方法无效
| 申请号： | 201410121087.8 | 申请日： | 2014-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN103900880A | 公开（公告）日： | 2014-07-02 |
| 发明（设计）人： | 黄玥;林春;王建新;储远洋;叶振华;丁瑞军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 制备 用于 观察 互连 情况 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种制备用于观察倒焊互连情况的制样方法，其特征在于包括以下步骤：
1)用塑料夹具无损无压地固定待观察样品，然后将固定好的待观察样品放入合适的模具，模具是橡胶、塑料器皿、PVC管、硬纸、打印纸自卷桶或塑料瓶盖；
2)将冷镶嵌料粉和冷镶嵌液按技术要求混合，尔后迅速倒入盛有待观察样品的模具中；
3)等待冷镶嵌料自然固化后，取出，用内圆切片机或DISCO切割机切出一个平整的起始观察面；
4)用研磨、抛光的方式将观察面处理光亮，制样完成。
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