[发明专利]过滤器滤材的制造装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于捕集被过滤气体所含有的颗粒的过滤器滤材的制造装置，特别是涉及一种用于制造对形成为片状的滤材原材进行打裥加工而成的过滤器滤材的制造装置。

背景技术

以往，在制造半导体、液晶的工厂的洁净室等中，使用构成为能够捕集被过滤气体所含有的颗粒的过滤器滤材。作为该过滤器滤材，使用将形成为片状的滤材原材在多处弯曲而形成为皱襞状而成的过滤器滤材。这样的过滤器滤材包括：弯曲部，其是通过将滤材原材弯曲而形成的；多个平板部，该多个平板部是通过将该弯曲部以外的区域以相对的方式配置而形成的；以及多个间隔保持部，该多个间隔保持部用于保持相邻的平板部之间的间隔。

作为用于制造该过滤器滤材的制造装置，使用包括如下构件的制造装置：打裥加工部，其构成为一边将片状的滤材原材沿着一个方向输送一边将该滤材原材在多处弯曲而形成为皱襞状（进行打裥加工）；粘接剂涂敷部，其构成为将粘接剂涂敷在被该打裥加工部进行打裥加工后的滤材原材上；以及滤材形成部，其构成为，通过使被该粘接剂涂敷部涂敷粘接剂后的滤材原材再次形成为皱襞状并使分别涂敷在相邻的平板部的相对面上的粘接剂相互间连结而形成间隔保持部，从而形成过滤器滤材（参照专利文献1和专利文献2）。

在上述那样的制造装置中，利用打裥加工部来形成弯曲部和平板部，由此使滤材原材的成为弯曲部的区域形成弯折记忆。因此，即使在利用粘接剂涂敷部向滤材原材涂敷粘接剂时滤材原材的形成为皱襞状的区域（以下也记作皱襞状区域）拉伸为片状，也能够利用滤材形成部使滤材原材易于返回皱襞状。

然而，在上述那样的制造装置中，输送至粘接剂涂敷部之前的滤材原材的皱襞状区域中的平板部之间的间隔自由地变宽或变窄。因此，在将滤材原材的皱襞状区域向粘接剂涂敷部引入（输送）时，存在不能将滤材原材的宽度方向（沿着弯曲部延伸的方向）上的两端部同时向粘接剂涂敷部侧引入（输送）的情况。也就是说，存在滤材原材的皱襞状区域一边沿着宽度方向曲折移动一边被输送至粘接剂涂敷部的情况。当产生这样的曲折移动时，会使在粘接剂涂敷部中的粘接剂的涂敷位置产生误差。该涂敷位置的误差会导致在利用滤材形成部形成过滤器滤材时分别涂敷在相邻的平板部的相对面上的粘接剂相互间没有连结或连结位置产生偏离，因此会成为使过滤器滤材产生不良的主要原因。

专利文献1：日本特开2003－265910号公报

专利文献2：日本特开2004－321937号公报

发明内容

因此，本发明的课题在于提供一种这样的过滤器滤材的制造装置：通过防止在滤材原材的皱襞状区域沿宽度方向（弯曲部延伸的方向）曲折移动的状态下将滤材原材的皱襞状区域输送至粘接剂涂敷部，从而防止获得的过滤器滤材产生不良。

本发明提供一种过滤器滤材的制造装置，该过滤器滤材的制造装置包括：打裥加工部，其构成为，通过在片状的滤材原材的一个方向上的多处使滤材原材沿着与一个方向正交的另一个方向弯曲而形成多个弯曲部，并将该滤材原材的除该弯曲部以外的区域以相对的方式配置而形成多个平板部，从而使滤材原材形成为皱襞状；输送部，其构成为具有以能够载置滤材原材的形成为皱襞状的区域的方式构成的载置构件，并在该载置构件上沿着一个方向输送滤材原材的形成为皱襞状的区域；拉伸部，其构成为，通过将滤材原材输送至向上方侧或下方侧离开载置构件与滤材原材的位于输送方向上的最下游侧的弯曲部之间的接触位置的位置，从而滤材原材的形成为皱襞状的区域沿着一个方向在自重作用下被拉伸；以及粘接剂涂敷部，其构成为，将自该拉伸部输送过来的滤材原材的形成为皱襞状的区域拉伸为片状，并在滤材原材上涂敷粘接剂。

采用该结构，通过设置拉伸部，能够防止在滤材原材的皱襞状区域被输送至粘接剂涂敷部之前因自重而被拉伸，因此能够防止滤材原材的皱襞状区域在曲折移动的状态下被输送至粘接剂涂敷部。

具体地讲，由于在将滤材原材的皱襞状区域输送至粘接剂涂敷部之前利用拉伸部将滤材原材的皱襞状区域拉伸，因此，在将滤材原材的皱襞状区域向粘接剂涂敷部引入（输送）时，能够将滤材原材的在另一个方向上的两端部同时输送至粘接剂涂敷部。因此，能够防止滤材原材的皱襞状区域一边沿着滤材原材的另一个方向曲折移动一边被输送至粘接剂涂敷部的情况。由此，能够防止在粘接剂涂敷部中的粘接剂的涂敷位置产生偏离，从而能够防止获得的过滤器滤材产生不良。

另外，滤材原材的皱襞状区域在自重作用下被拉伸，因此能够防止因滤材原材的皱襞状区域与其他构件间的接触而使滤材原材损伤。由此，能够防止过滤器滤材的捕集效率降低。