[发明专利]一种阴极电弧靶冷却装置在审
| 申请号： | 201410124974.0 | 申请日： | 2014-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN104947045A | 公开（公告）日： | 2015-09-30 |
| 发明（设计）人： | 田灿鑫;韩滨;付德君 | 申请（专利权）人： | 宜昌后皇真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 宜昌市三峡专利事务所 42103 | 代理人： | 姜荣华 |
| 地址： | 443500 *** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 阴极 电弧 冷却 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种阴极电弧靶冷却装置，其特征是：所述冷却装置包括靶座（1）、靶材（2）、及设在靶座（1）内部的多条冷却水道（3），靶材（2）嵌在靶座（1）表面上；
所述靶材（2）与所述冷却水道（3）被铜板（4）隔开，铜板（4）使冷却水道（3）与靶材（2）分属不同的独立空间，靶材（2）与铜板（4）相接触；
所述冷却水道（3）内通过液体时，铜板（4）受液体压力向靶材（2）凸出。
2.根据权利要求1所述的一种阴极电弧靶冷却装置，其特征是：所述铜板（4）边缘被固定在靶座（1）上。
3.根据权利要求1所述的一种阴极电弧靶冷却装置，其特征是：所述铜板（4）的厚度为0.5-2mm。
4.根据权利要求1所述的一种阴极电弧靶冷却装置，其特征是：所述铜板（4）与靶材（2）相接面上设有多条突起的脊（5），在脊（5）对应的靶材（2）上设有凹槽（6），脊（5）能嵌入凹槽（6）内。
5.根据权利要求1所述的一种阴极电弧靶冷却装置，其特征是：所述铜板（4）与冷却水道（3）相邻面不规则的布置突点。
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