[发明专利]一种用于集成电路的RC触发式ESD保护电路在审
申请号: | 201410127313.3 | 申请日: | 2014-03-31 |
公开(公告)号: | CN103915828A | 公开(公告)日: | 2014-07-09 |
发明(设计)人: | 乔明;马金荣;齐钊;石先龙;曲黎明;张波 | 申请(专利权)人: | 电子科技大学 |
主分类号: | H02H9/02 | 分类号: | H02H9/02;H01L27/02 |
代理公司: | 成都宏顺专利代理事务所(普通合伙) 51227 | 代理人: | 李顺德;王睿 |
地址: | 611731 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 集成电路 rc 触发 esd 保护 电路 | ||
技术领域
本发明属于电子技术领域,涉及半导体集成电路芯片的静电释放(ElectroStatic Discharge,简称为ESD)保护电路技术,尤指一种用于集成电路的RC触发式ESD保护电路。
背景技术
在集成电路生产、封装、测试、存放、搬运过程中,静电放电作为一种不可避免的自然现象而普遍存在。随着集成电路工艺特征尺寸的减小和各种先进工艺的发展,集成电路被ESD现象损毁的情况越来越普遍,有关研究调查表明,集成电路失效产品的30%都是由于遭受静电放电现象所引起的。因此,使用高性能的ESD防护器件对集成电路电路加以保护显得十分重要。
随着集成电路工艺特征尺寸的减小和各种先进工艺的发展,特别是深亚微米的工艺中,依靠钳位器件的反偏PN节击穿的传统ESD保护结构已经很难满足ESD的设计要求,而通过RC触发电路来开启ESD钳位器件的方法则能有效的保护集成电路。
图1是传统用于集成电路的RC触发式ESD保护电路,包括:RC触发电路103和ESD钳位器件104。触发电路103包括电阻105、电容106、PMOS管107和NMOS管108。电阻105和电容106串联后的电阻端接VDD电源线101,其电容端接VSS电源线102;电阻105和电容106的连接点109接PMOS管107栅极和NMOS管108的栅极,PMOS管107的源极接VDD电源线101,NMOS管108的源极接VSS电源线102,PMOS管107的漏极和NMOS管108的漏极互连并接ESD钳位器件104的控制端,钳位器件104的高压端接VDD电源线101,钳位器件104的低压端接VSS电源线102。
该RC触发式ESD保护电路的工作原理为:RC触发电路103内由电阻105和电容106构成的RC串联电路的时间常数设计在0.1~1us,在不上电的情况下,ESD脉冲没有加在电源线101和102之间时,电位点109的电位为0,当VDD电源线101端出现一正ESD脉冲时,由于ESD电压具有很快的上升速度(其上升时间约在5~15ns),电位点109的电压因RC延迟效应无法跟得上101端的ESD电压上升速度,因此电位点109的低电位导致PMOS管107和NMOS管108构成的反相器的输出端110的电位藉由101上的ESD电压而上升到高电位。而电位点110的高电位会触发ESD钳位器件104,从而旁通掉ESD电流。而在正常的工作条件下,VDD电源线101外加一固定的工作电压,在开机时,VDD电源线101的电压是从0V逐渐上升到5V的,但是由于VDD电源线101的电压上升时间约1ms左右,而RC触发电路的时间常数设计为0.1~1us,因此电位点109的电压跟得上101端工作电压上升速度,则反相器不会开启,电位点110保持低电位,从而不会开启ESD钳位器件,不会影响内部电路的正常工作。
该触发电路虽然能很好的开启ESD钳位器件,以泄放ESD电流,但是带来的副作用也是很明显的,由于RC触发电路的RC时间常数(即RC触发时间)需要设计在0.1~1μs范围内,常用的典型值是200ns,因此就需要很大电阻和电容(比如2pF的电容和100K欧的电阻),这往往就需要很大的版图面积,增加设计成本。
发明内容
本发明针对常规用于集成电路的RC触发式ESD保护电路中RC触发电路的RC时间常数偏大,需要较大的电阻和电容,从而导致RC触发式ESD保护电路占用芯片面积过大的技术问题,提供一种用于集成电路的RC触发式ESD保护电路。该RC触发式ESD保护电路具有RC时间常数更小,无需较大电阻和电容的优势,从而使得RC触发式ESD保护电路占用芯片面积大大降低,最终达到降低集成电路成本的目的。
本发明解决上述技术问题所采用的技术方案是:
一种用于集成电路的RC触发式ESD保护电路,如图2所示,包括:RC触发电路103和ESD钳位器件104。触发电路103包括两个电阻105和205、一个电容106、一个PMOS管107和一个NMOS管108。第一电阻105和电容106串联后的电阻端接VDD电源线101,其电容端接VSS电源线102;第一电阻105和电容106的连接点109接PMOS管107的栅极和NMOS管108的漏极,PMOS管107的源极接VDD电源线101,NMOS管108的源极接VSS电源线102,PMOS管107的漏极和NMOS管108的栅极互连后的连接点110接ESD钳位器件104的控制端的同时通过第二电阻205接VSS电源线102。钳位器件104的高压端接VDD电源线101,钳位器件104的低压端接VSS电源线102。
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