[发明专利]对质谱仪进行真空度测量和控制的方法及设备

权利要求书

1.一种对质谱仪进行真空度测量和控制的方法，包括：

获取至少一个真空规管测得的腔体的真空度及真空规管内部识别电阻的端电压；

根据真空规管内部识别电阻的端电压及真空规管测得的真空度确定该真空规管所测量的腔体的类型；

根据各真空规管测得的真空度及所测量的腔体的类型控制质谱仪动作。

2.如权利要求1所述的方法，其中，所述腔体的类型包括接口腔体、透镜腔体和检测器腔体，其中，接口腔体是接口所在的腔体、透镜腔体是透镜所在的腔体、检测器腔体是检测器所在的腔体。

3.如权利要求2所述的方法，其中，根据各真空规管测得的真空度及所测量的腔体的类型控制质谱仪动作的步骤包括：

根据各真空规管测得的真空度及所测量的腔体的类型控制阀门、透镜、检测器中的至少一个的关闭和/或开启，其中，所述阀门是位于接口腔体与透镜腔体之间的阀门。

4.如权利要求3所述的方法，其中，根据各真空规管测得的真空度及所测量的腔体的类型控制阀门、透镜、检测器中的至少一个的关闭和/或开启的步骤包括：

当任意一真空规管测得的真空度大于所测量的腔体的类型对应的第一真空度阈值时，控制阀门关闭。

5.如权利要求3所述的方法，其中，根据各真空规管测得的真空度及所测量的腔体的类型控制阀门、透镜、检测器中的至少一个的关闭和/或开启的步骤包括：

当接收到用户开启阀门的操作时，确定各真空规管测得的真空度是否都小于所测量的腔体的类型对应的第二真空度阈值；

当确定各真空规管测得的真空度都小于所测量的腔体的类型对应的第二真空度阈值时，控制阀门开启。

6.如权利要求3所述的方法，其中，根据各真空规管测得的真空度及所测量的腔体的类型控制阀门、透镜、检测器中的至少一个的关闭和/或开启的步骤包括：

当任意一真空规管测得的真空度大于所测量的腔体的类型对应的第三真空度阈值时，控制透镜和/或检测器关闭。

7.如权利要求3所述的方法，其中，根据各真空规管测得的真空度及所测量的腔体的类型控制阀门、透镜、检测器中的至少一个的关闭和/或开启的步骤包括：

当接收到用户开启透镜和/或检测器的操作时，确定各真空规管测得的真空度是否都小于所测量的腔体的类型对应的第四真空度阈值；

当确定各真空规管测得的真空度都小于所测量的腔体的类型对应的第四真空度阈值时，控制透镜和/或检测器开启。

8.如权利要求1所述的方法，还包括：

根据真空规管内部识别电阻的端电压确定该真空规管的类型；

根据低真空规管测得的真空度控制高真空规管开启。

9.一种对质谱仪进行真空度测量和控制的设备，包括：

获取单元，获取至少一个真空规管测得的腔体的真空度及真空规管内部识别电阻的端电压；

腔体类型确定单元，根据真空规管内部识别电阻的端电压及真空规管测得的真空度确定该真空规管所测量的腔体的类型；

控制单元，根据各真空规管测得的真空度及所测量的腔体的类型控制质谱仪动作。

10.如权利要求9所述的设备，其中，所述腔体的类型包括接口腔体、透镜腔体和检测器腔体，其中，接口腔体是接口所在的腔体、透镜腔体是透镜所在的腔体、检测器腔体是检测器所在的腔体。

11.如权利要求10所述的设备，其中，控制单元根据各真空规管测得的真空度及所测量的腔体的类型控制阀门、透镜、检测器中的至少一个的关闭和/或开启，其中，所述阀门是位于接口腔体与透镜腔体之间的阀门。

12.如权利要求11所述的设备，其中，控制单元包括：

阀门关闭控制单元，当任意一真空规管测得的真空度大于所测量的腔体的类型对应的第一真空度阈值时，控制阀门关闭。

13.如权利要求11所述的设备，其中，控制单元包括：

第一确定单元，当接收到用户开启阀门的操作时，确定各真空规管测得的真空度是否都小于所测量的腔体的类型对应的第二真空度阈值；

阀门开启控制单元，当确定各真空规管测得的真空度都小于所测量的腔体的类型对应的第二真空度阈值时，控制阀门开启。