[发明专利]有机光电子器件的卷对卷制备设备及其制备方法

权利要求书

1.一种有机光电子器件的卷对卷制备设备，其特征在于：包括惰性气体腔室和设置在惰性气体腔室内的卷对卷传输装置、有机功能层制备系统和阴极形成系统；所述有机功能层制备系统和阴极形成系统依次沿衬底材料传输方向先后设置。

2.根据权利要求1所述的有机光电子器件的卷对卷制备设备，其特征在于：所述惰性气体腔室内还设置有水分析仪、氧分析仪、用于吸附水和氧的净化柱和可再生的有机溶剂吸附柱。

3.根据权利要求2所述的有机光电子器件的卷对卷制备设备，其特征在于：所述卷对卷设备还设置有用于对惰性气体腔室进行抽真空的真空泵和用于向惰性气体腔室充惰气的惰性气瓶。

4.根据权利要求3所述的有机光电子器件的卷对卷制备设备，其特征在于：所述卷对卷传输装置包括至少一个放料辊和收料辊，所述放料辊与收料辊之间还设置有多个用于传输器件材料的传输辊轴。

5.根据权利要求4所述的有机光电子器件的卷对卷制备设备，其特征在于：所述卷对卷传输装置还设置有前后纠偏系统，所述的前后纠偏系统包括材料边缘感应器和传送修复装置，所述材料边缘感应器设置在放料辊和收料辊上，所述传送修复装置连接在放料辊和收料辊的轴上。

6.根据权利要求5所述的有机光电子器件的卷对卷制备设备，其特征在于：所述卷对卷传输装置还包括张力控制系统，所述张力控制系统包括张力感应装置和转速控制装置。

7.根据权利要求6所述的有机光电子器件的卷对卷制备设备，其特征在于：所述有机功能层制备系统包括用于形成有机湿膜的狭缝涂布系统和位于其后的有机溶剂挥发系统。

8.根据权利要求7所述的有机光电子器件的卷对卷制备设备，其特征在于：所述阴极形成系统包括阴极湿膜形成系统和位于其后用于烘干的挥发系统。

9.根据权利要求8所述的有机光电子器件的卷对卷制备设备，其特征在于：所述阴极湿膜形成系统包括刮刀系统、丝网印刷系统和喷墨打印系统。

10.利用权利要求9所述的卷对卷制备设备制造有机光电子器件的方法，其特征在于：包括如下步骤：

1）、利用真空泵、惰性气瓶、水分析仪、氧分析仪和净化柱使惰性气体腔室内处于无水无氧状态；

2）、将带有阳极层的柔性衬底材料设置于放料辊上，所述衬底材料的开放端缠绕在收料辊上，以相同速度转动放料辊和收料辊，使衬底材料沿规定路线传输；

3）、利用狭缝涂布系统使柔性衬底材料涂布上有机功能层，然后经过有机溶剂挥发系统使柔性衬底材料上的有机功能层形成性质稳定的器件功能层；

4）、最后利用阴极形成系统在柔性衬底材料上制备出器件阴极层。