[发明专利]镀膜充气装置有效
申请号: | 201410133137.4 | 申请日: | 2014-04-03 |
公开(公告)号: | CN103866294B | 公开(公告)日: | 2017-01-11 |
发明(设计)人: | 郑芳平;张迅;易伟华 | 申请(专利权)人: | 江西沃格光电股份有限公司 |
主分类号: | C23C16/455 | 分类号: | C23C16/455 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人: | 吴平 |
地址: | 338004 江西省新余*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 镀膜 充气 装置 | ||
1.一种镀膜充气装置,其特征在于,包括:
主气管,为长条形管状结构,所述主气管上开设有多个第一出气孔,多个所述第一出气孔沿所述主气管的轴向间隔排列,所述主气管的侧壁上沿其轴向还均匀分布有多个第一充气孔;及
辅助气管,设置于所述主气管的一侧,并与所述主气管相独立,所述辅助气管上开设有多个第二出气孔,多个所述第二出气孔沿所述辅助气管的轴向间隔排列,所述辅助气管内设置有多个第一分隔板,多个所述第一分隔板将所述辅助气管分隔成多个相互独立的辅助通道,多个所述辅助通道的侧壁上均开设有第二充气孔。
2.根据权利要求1所述的镀膜充气装置,其特征在于,所述主气管与所述辅助气管一体成型,且所述主气管与所述辅助气管通过轴向延伸的第二分隔板进行分隔。
3.根据权利要求1所述的镀膜充气装置,其特征在于,所述第一充气孔为三个;所述第一分隔板为两个,两个所述第一分隔板将所述辅助气管分隔成三个相互独立的辅助通道。
4.根据权利要求1所述的镀膜充气装置,其特征在于,相邻两个所述第一出气孔间的距离相等。
5.根据权利要求1所述的镀膜充气装置,其特征在于,相邻两个所述第二出气孔间的距离相等。
6.根据权利要求1所述的镀膜充气装置,其特征在于,还包括第一充气管,所述第一充气管包括主充气管及由所述主充气管一端分叉形成的多个支管,多个所述支管分别通过多个第一充气孔与所述主气管内部相导通。
7.根据权利要求6所述的镀膜充气装置,其特征在于,还包括第一流量计,所述第一流量计设置于所述主充气管上,用于对主充气管内的气流进行控制。
8.根据权利要求6所述的镀膜充气装置,其特征在于,还包括多个第二充气管,多个所述第二充气管分别通过多个第二充气孔与多个辅助通道相导通。
9.根据权利要求8所述的镀膜充气装置,其特征在于,所述第二充气管上还设置有第二流量计。
10.根据权利要求1所述的镀膜充气装置,其特征在于,所述主气管和/或所述辅助气管为矩形管。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的