[发明专利]工艺制程处理方法及系统

说明书

技术领域

本发明涉及工业自动化制造技术领域，特别是涉及一种工艺制程处理方法及系统。

背景技术

工业自动化制造过程中的工艺制程（Recipe），其内容包含物料加工过程中的多个步骤、每个步骤中各种工艺参数的数值和步骤的结束条件等等。在半导体集成电路领域，由于加工精细度越来越高，工艺过程也变得越来越复杂，一个Recipe中包含的信息也越来越多，这些信息对于工艺人员来说从逻辑上不是单一的信息总和，而是有一定的类别、作用等区分，能够更方便合理的维护和保存这些信息并按要求完成工艺执行，给工艺人员提供清晰简洁的操作变得至关重要。

传统的Recipe中只包含执行工艺时需要的工艺参数，未包含其他辅助性的信息。例如，工艺执行过程中监测实时数据用的容差值，这类信息一般存储为整个设备的配置参数，适用于设备上运行的所有Recipe。但在一些情况下，单个Recipe需要单独设置容差值，若改变设备的配置参数，数值变化会应用于所有Recipe，即硬件的配置参数值无法针对某个recipe单独设置，不能满足需求。

发明内容

为解决这一问题，本发明提出了一种工艺制程处理方法及系统，通过对工艺制程的所有参数进行划分，针对单个工艺制程设置配置参数并进行分页显示，方便用户编辑或查看。

为实现本发明目的而提供的工艺制程处理方法，包括以下步骤：

根据工艺制程中各个参数的物理存储位置，将所述工艺制程中的所有参数划分为两种类型，其中，一种为工艺参数，另一种为配置参数；

工艺开始后，读取所述工艺制程中的所有参数的值；

遍历所述工艺制程中的所有参数，并根据所述参数的名称识别当前参数的类型；

若当前参数为所述配置参数，则进一步判断当前参数是否存在根据用户需求配置的指定值，若判断当前参数存在所述指定值，则将所述指定值发送至对应的功能模块中运行并显示。

作为一种可实施方式，本发明的工艺制程处理方法还包括以下步骤：

若当前参数为所述工艺参数，则将当前参数的值设置到对应的硬件设备中，控制所述对应的硬件设备进行工艺。

进一步地，在若当前参数为所述配置参数，进一步判断当前参数是否存在根据用户需求配置的指定值之后，还包括以下步骤：

若判断当前参数不存在所述指定值，则将预设的当前参数的默认值发送至对应的功能模块中运行并显示。

作为一种可实施方式，在遍历所述工艺制程中的所有参数后，还包括以下步骤：

等待工艺结束，同时监测工艺过程中所有参数的实际值是否超过配置的所述指定值或者预设的所述默认值，并根据监测结果进行相应的处理。

其中，所述配置参数包括软硬容差、和/或超时时间、和/或稳定时间。

相应的，为实现本发明目的而提供的工艺制程处理系统，包括划分模块、读取模块、识别模块以及第一控制模块；

所述划分模块，用于根据工艺制程中各个参数的物理存储位置，将所述工艺制程中的所有参数划分为两种类型，其中，一种为工艺参数，另一种为配置参数；

所述读取模块，用于在工艺开始后，读取所述工艺制程中的所有参数的值；

所述识别模块，用于遍历所述工艺制程中的所有参数，并根据所述参数的名称识别当前参数的类型；

所述第一控制模块，用于在当前参数为所述配置参数时，进一步判断当前参数是否存在根据用户需求配置的指定值，若判断当前参数存在所述指定值，则将所述指定值发送至对应的功能模块中运行并显示。

作为一种可实施方式，本发明的工艺制程处理系统还包括第二控制模块；

所述第二控制模块，用于在当前参数为所述工艺参数时，将当前参数的值设置到对应的硬件设备中，控制所述对应的硬件设备进行工艺。

进一步地，本发明的工艺制程处理系统还包括第三控制模块；

所述第三控制模块，用于在判断当前参数不存在所述指定值后，将预设的当前参数的默认值发送至对应的功能模块中运行并显示。

作为一种可实施方式，本发明的工艺制程处理系统还包括监控模块；

所述监控模块，用于在所述识别模块遍历所述工艺制程中的所有参数后，等待工艺结束，同时监测工艺过程中所有参数的实际值是否超过配置的所述指定值或者预设的所述默认值，并根据监测结果进行相应的处理。

其中，所述配置参数包括软硬容差、和/或超时时间、和/或稳定时间。