[发明专利]光罩检测方法

权利要求书

1.一种光罩检测方法，其特征在于，包括：

提供一控片，将待测光罩的图形转移到所述控片上；

对所述控片进行第一次缺陷扫描；

将所述控片旋转90°之后进行第二次缺陷扫描。

2.如权利要求1所述的光罩检测方法，其特征在于，所述控片上具有一缺口，根据所述缺口的位置确认所述控片的旋转角度。

3.如权利要求1所述的光罩检测方法，其特征在于，所述第一次缺陷扫描和第二次缺陷扫描均采用同一扫描设备。

4.如权利要求3所述的光罩检测方法，其特征在于，所述扫描设备采用横向重复单元对比法或纵向重复单元对比法。

5.如权利要求2所述的光罩检测方法，其特征在于，在进行第一次缺陷扫描之前，在将待测光罩的图形转移到所述控片上之后，还包括：根据产品和工艺设定所述扫描设备的参数。

6.如权利要求1所述的光罩检测方法，其特征在于，所述图形包括多个单元图形，所述多个单元图形组成阵列。