[发明专利]一种氧化锌压控变容管的制备方法有效
| 申请号： | 201410139003.3 | 申请日： | 2014-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN103952674A | 公开（公告）日： | 2014-07-30 |
| 发明（设计）人： | 李玲霞;郑浩然;于仕辉;许丹;董和磊;金雨馨 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 张宏祥 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 氧化锌 压控变容管 制备 方法 | ||
1.一种氧化锌压控变容管的制备方法，具有如下步骤：
（1）称取ZnO粉末，压制成型，采用固相烧结法于1100℃烧制ZnO靶材；
（2）将Pt-Si衬底清洗干净，以N2吹干并放入磁控溅射样品台上；
（3）将磁控溅射系统的本底真空抽至P<7.0×10-6Torr，然后加热Pt-Si衬底至300～700℃；
（4）以高纯氩气和氧气作为溅射气体，Ar和O2的流量比为10:1～2:1,气体总流量为100sccm，溅射气压为10mTorr，溅射功率为100～200W，进行沉积得到ZnO薄膜；
（5）步骤（4）停止后，待Pt-Si衬底温度降至200℃以下时，取出制品，在氧气气氛炉中进行后退火处理，所述退火温度为400℃～600℃，退火时间为5～60min；
（6）在步骤（5）退火后的ZnO薄膜上面利用掩膜版制备金属电极，并利用热蒸镀法或者溅射法制备Au或者Pt电极。
2.根据权利要求1所述的一种氧化锌压控变容管的制备方法，其特征在于，所述步骤（1）ZnO粉末的纯度为99%。
3.根据权利要求1所述的一种氧化锌压控变容管的制备方法，其特征在于，所述步骤（4）氩气和氧气的纯度为99.99%。
4.根据权利要求1所述的一种氧化锌压控变容管的制备方法，其特征在于，所述步骤（4）得到ZnO薄膜的厚度为150～500nm，通过调节溅射功率和沉积时间控制薄膜厚度。
5.根据权利要求1所述的一种氧化锌压控变容管的制备方法，其特征在于，所述步骤（5）氧气气氛炉中通入氧气的压强≤0.1Mpa，氧气纯度≥99%。
6.根据权利要求1所述的一种氧化锌压控变容管的制备方法，其特征在于，所述步骤（6）的电极为圆形电极，直径≤0.3mm。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于天津大学，未经天津大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201410139003.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种中药组合物在制备治疗结节性痒疹药物中的应用
- 下一篇：胶囊制作工具
- 同类专利
- 专利分类
