[发明专利]磁体单元和包含所述磁体单元的溅射设备

权利要求书

1.一种磁体单元，其特征在于包括：

卡箍；

第一磁体，经设置以在所述卡箍上具有直线形状；以及

第二磁体，设置在所述卡箍上以围绕所述第一磁体，

其中所述第一磁体与所述第二磁体之间的间隔和角度中的至少一个在至少两个区域中不同。

2.根据权利要求1所述的磁体单元，其中所述第二磁体包括在所述第一磁体的纵向方向上从所述第一磁体分开的第一长边和第二长边以及与所述第一磁体分开且将所述第一长边和所述第二长边彼此连接的第一短边和第二短边。

3.根据权利要求2所述的磁体单元，其中所述第一磁体与所述第二磁体的所述长边之间的间隔和角度中的至少一个在从所述第一短边和所述第二短边与所述第一长边和所述第二长边分别彼此连接的部分到所述第一磁体的所述纵向方向的至少两个区域中彼此不同。

4.根据权利要求3所述的磁体单元，包括：

第一区域，其中从所述磁体的一个末端到所述第一磁体的所述纵向方向，所述第一磁体与所述第一长边之间的间隔和角度中的至少一个大于所述第一磁体与所述第二长边之间的间隔和角度中的至少一个；以及

第二区域，其中从所述磁体的另一末端到所述第一磁体的所述纵向方向，所述第一磁体与所述第一长边之间的所述间隔和所述角度中的至少一个小于所述第一磁体与所述第二长边之间的所述间隔和所述角度中的至少一个。

5.根据权利要求4所述的磁体单元，其中所述第一区域和所述第二区域设置为具有从所述第一短边和所述第二短边与所述第一长边和所述第二长边分别彼此连接的部分到所述第一磁体单元的所述纵向方向的1/8到1/2的长度。

6.根据权利要求5所述的磁体单元，其中所述第一磁体与所述第二磁体的所述长边之间的所述间隔在具有大间隔的区域中为至少12毫米，且在具有小间隔的区域中为9毫米到11毫米。

7.根据权利要求5所述的磁体单元，其中所述角度在具有大角度的区域中为28°，且在具有小角度的区域中为25°到27°。

8.一种溅射设备，其特征在于包括：

背管，具有圆柱形形状且可旋转；

磁体单元，设置在所述背管内部；

圆柱形标靶，设置在所述背管外部；以及

衬底支撑件，与所述标靶相对且支撑衬底，

其中所述磁体单元包括卡箍、经设置以在所述卡箍上具有直线形状的第一磁体以及设置在所述卡箍上以围绕所述第一磁体的第二磁体，且

其中所述第一磁体与所述第二磁体之间的间隔和角度中的至少一个在至少两个区域中不同。

9.根据权利要求8所述的溅射设备，包括：

第一区域，其中从所述磁体的一个末端到所述第一磁体的所述纵向方向，所述第一磁体与所述第一长边之间的间隔和角度中的至少一个大于所述第一磁体与所述第二长边之间的间隔和角度中的至少一个；以及

第二区域，其中从所述磁体的另一末端到所述第一磁体的所述纵向方向，所述第一磁体与所述第一长边之间的所述间隔和所述角度中的至少一个小于所述第一磁体与所述第二长边之间的所述间隔和所述角度中的至少一个。

10.根据权利要求9所述的溅射设备，其中所述第一区域和所述第二区域设置为具有从所述第一短边和所述第二短边与所述第一长边和所述第二长边分别彼此连接的部分到所述第一磁体单元的所述纵向方向的1/8到1/2的长度。