[发明专利]一种化学液供给装置及其供给方法

权利要求书

1.一种化学液供给装置，其特征在于：包括原料桶(7)、第一供液桶(9)、第二供液桶(24)、回收桶(25)、真空发生器(2)、高压泵(14)、化学液泵(28)、工艺处理腔体(29)、电磁阀及药液阀，其中第一供液桶(9)及第二供液桶(24)分别连通由电磁阀控制开关的供气源，所述第一供液桶(9)还连通由电磁阀控制开关的真空发生器(2)，所述原料桶(7)与该第一供液桶(9)相连通，并在原料桶(7)与第一供液桶(9)之间的管路上设有控制管路开关的药液阀；所述第一供液桶(9)输出的化学液一路连通由药液阀控制开关的浸泡单元，另一路连通向工艺处理腔体(29)内晶圆喷洒化学液的扇状喷嘴(31)，所述另一路的管路上设有高压泵(14)，并在管路上安装有控制管路开关的药液阀；所述工艺处理腔体(29)通过管路与回收桶(25)连通，工艺处理腔体(29)中的化学液通过所述回收桶(25)回收；所述回收桶(25)通过管路与第二供液桶(24)连通，并在该管路上分别设有化学液泵(28)及控制管路开关的药液阀，所述回收桶(25)内回收的化学液通过化学液泵(28)泵入第二供液桶(24)内；所述第二供液桶(24)通过管路与高压泵(14)的输入端相连通，并在管路上安装控制管路开关的药液阀，所述第二供液桶(24)内回收的化学液通过高压泵(14)、扇状喷嘴(31)向晶圆喷洒的同时，由第一供液桶(9)输出化学液的所述另一路管路关闭。

2.按权利要求1所述的化学液供给装置，其特征在于：所述第一供液桶(9)输出的化学液另一路的管路并联有连通柱状喷嘴(30)的管路，并在该连通柱状喷嘴(30)的管路上设有控制连通柱状喷嘴(30)管路开关的药液阀，所述柱状喷嘴(30)向工艺处理腔体(29)内晶圆喷洒的化学液由第一供液桶(9)输出。

3.按权利要求1所述的化学液供给装置，其特征在于：所述第一供液桶(9)输出的化学液另一路的管路上、所述第二供液桶(24)与所述高压泵(14)输入端连通的管路上以及所述回收桶(25)与第二供液桶(24)连通的管路上分别安装有过滤器。

4.按权利要求1所述的化学液供给装置，其特征在于：所述第一供液桶(9)、第二供液桶(2)及回收桶(25)内均安装有检测液位的液位传感器。

5.按权利要求4所述的化学液供给装置，其特征在于：所述液位传感器均为上下两个，分别检测各桶内化学液的高液位及低液位。

6.按权利要求1所述的化学液供给装置，其特征在于：所述第一供液桶(9)与供气源连通的管路上以及第二供液桶(24)与供气源连通的管路上分别设有释放桶内残余气体的手动三通阀。

7.按权利要求1所述的化学液供给装置，其特征在于：所述第二供液桶(24)连通有控制向外排出桶内多余气体的溢流阀(20)。

8.按权利要求1所述的化学液供给装置，其特征在于：所述第一供液桶(9)输出化学液的两个管路并联有由药液阀控制管路开关的排废管路；所述第二供液桶(24)与高压泵(14)输入端连通的管路上并联有由药液阀控制管路开关的排废管路；所述工艺处理腔体(29)与回收桶(25)之间管路上的药液阀以及所述回收桶(25)与第二供液桶(24)之间管路上的药液阀均为常开状态，当工艺处理腔体(29)与回收桶(25)之间管路上的药液阀以及回收桶(25)与第二供液桶(24)之间管路上的药液阀换向为常闭状态时，所述工艺处理腔体(29)内的化学液以及回收桶(25)内的化学液均向外排废。

9.一种按权利要求1所述化学液供给装置的供给方法，其特征在于：所述第一供液桶(9)与原料桶(7)之间通过压力差实现化学液的驱动，第一供液桶(9)输出的化学液一路供给浸泡单元，另一路经所述扇状喷嘴(31)对工艺处理腔体(29)内的晶圆表面进行冲洗；所述工艺处理腔体(29)内的化学液由回收桶(25)回收后利用与第二供液桶(24)之间的压力差输送至第二供液桶(24)内，再由所述高压泵(14)将第二供液桶(24)内回收的化学液经泵出，经所述扇状喷嘴(31)对工艺处理腔体(29)内的晶圆表面进行冲洗；在第二供液桶(24)内回收的化学液经扇状喷嘴(31)对晶圆表面进行冲洗的同时，由第一供液桶(9)输出的化学液管路关闭，实现了化学液无间断供应。

10.按权利要求9所述的供给方法，其特征在于：所述第一供液桶(9)输出化学液的另一路并联有一个管路，该并联的管路连通柱状喷嘴(30)，当晶圆使用回收的化学液处理完成后，可通过该并联的管路将第一供液桶(9)输出的化学液由所述柱状喷嘴(30)对晶圆表面进行冲洗，保证晶圆表面的洁净度。