[发明专利]带集成探测器的电子显微镜

权利要求书

1.一种电子显微镜和X射线探测器的组合，所述显微镜包括容纳用于保持待分析样本的样本台的真空室，且所述X射线探测器包括安装在所述真空室中的固态X射线传感器和接合所述传感器并结合至少一个目的是从所述传感器移除热的热电冷却元件的热力循环；

包括所述热力循环的改进结合所述真空室作为耗散来自所述热电冷却元件的输出热的方法。

2.如权利要求21所述的组合，包括用于包括所述X射线传感器的所述X射线探测器的机械支持，其中所述支持用作用于传导热到所述真空室的所述热力循环的元件。

3.如权利要求22所述的组合，其中所述机械支持整体容纳在所述真空室中。

4.如权利要求21所述的组合，其中所述X射线传探测器包括分享所述热力循环的多个X射线传感器。

5.如权利要求21所述的组合，包括从所述电子显微镜的光学元件热隔离所述真空室的绝热屏障。

6.如权利要求25所述的组合，其中所述绝热屏障包括为所述X射线探测器保留电子电路的电路板。

7.如权利要求26所述的组合，所述电路板包括用于从所述真空室中的所述X射线探测器传输信号到所述真空室外部的导体。

8.如权利要求21所述的组合，包括一系列所述热电冷却元件。

9.如权利要求21所述的组合，其中所述固态X射线探测器包括SDD传感器。

10.一种电子显微镜和X射线探测器的组合，所述显微镜包括容纳用于保持待分析样本的样本台的真空室，且所述X射线探测器包括安装在所述真空室中的固态X射线传感器和结合目的是从所述传感器移除热的多样的热电冷却元件的热力循环；其中所有所述热电冷却元件容纳在所述真空室中。