[发明专利]具有保偏特性的光纤探针及其制备方法

权利要求书

1.一种具有保偏特性的光纤探针，其特征在于，包括裸光纤探针和金属薄膜；所述裸光纤探针由去除保护层后的椭圆芯保偏光纤制得，所述裸光纤探针的一端为针尖结构，针尖下端面为椭圆形，针尖顶部沿针尖下端面的长轴方向存在凹槽，将针尖顶部分割成对称的两瓣；所述金属薄膜覆盖除所述凹槽外的所述裸光纤探针的表面，在针尖顶部形成两瓣金属薄膜，所述两瓣金属薄膜与所述凹槽形成表面等离子体增强结构。

2.如权利要求1所述的具有保偏特性的光纤探针，其特征在于，所述金属薄膜的膜厚为50～150nm。

3.如权利要求1或2所述的具有保偏特性的光纤探针，其特征在于，所述凹槽的槽宽为10～50nm。

4.如权利要求1至3中任一项所述的具有保偏特性的光纤探针，其特征在于，所述金属薄膜的材料为金、银或铝。

5.一种如权利要求1至4中任一项所述的光纤探针的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

（1）选取椭圆芯保偏光纤，去除保护层，得到裸光纤；

（2）采用拉锥法或化学刻蚀法在裸光纤的一端形成针尖，该针尖为类鸭嘴形，针尖下端面为椭圆形，构成鸭嘴结构的两曲面相交形成一条背脊线，该背脊线与针尖下端面的长轴共面；

（3）在所述步骤（2）得到的结构表面镀上一层金属薄膜；

（4）沿背脊线方向切除针尖顶部的一段背脊线，使被切除部分的光纤芯材裸露在外，同时使金属薄膜在针尖顶部分割成两瓣；

（5）沿针尖下端面的长轴方向，将针尖顶部裸露的芯材分割成两瓣，从而在两瓣金属薄膜间形成空气间隙，完成光纤探针的制备。

6.如权利要求5所述的光纤探针的制备方法，其特征在于，所述步骤（2）具体为：将含有HF和NH4F的混合溶液作为刻蚀液，在刻蚀液表面覆盖一层不溶于该刻蚀液的有机溶剂作为保护液，将裸光纤部分垂直插入刻蚀液，使光纤下端暴露在刻蚀液中，直至针尖形成。