[发明专利]一种用于辉光无氢渗碳的石墨源极有效
申请号: | 201410146017.8 | 申请日: | 2014-04-11 |
公开(公告)号: | CN103882369A | 公开(公告)日: | 2014-06-25 |
发明(设计)人: | 陈飞;赵云 | 申请(专利权)人: | 北京石油化工学院 |
主分类号: | C23C8/36 | 分类号: | C23C8/36 |
代理公司: | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人: | 郑立明;陈亮 |
地址: | 102600 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 辉光 渗碳 石墨 | ||
1.一种用于辉光无氢渗碳的石墨源极,其特征在于,所述石墨源极包括并联放置的外部石墨罩体和内部石墨罩体,其中:
内外部石墨罩体的整体呈立方形,且内外部石墨罩体在同一侧均开有测温通气孔;
所述内部石墨罩体的上下均匀分布有针状石墨源极,且该内部石墨罩体中设置有石墨卡具,该石墨卡具用于夹持工件;
所述石墨卡具将所述工件水平悬浮于上下均匀分布的针状石墨源极之间;
所述外部石墨罩体的外面为金属罩体,并在该金属罩体的一侧设有另一测温通气孔。
2.根据权利要求1所述用于辉光无氢渗碳的石墨源极,其特征在于,
所述并联放置的外部石墨罩体和内部石墨罩体之间的间隙为10~20毫米。
3.根据权利要求1所述用于辉光无氢渗碳的石墨源极,其特征在于,
所述上下均匀分布的针状石墨源极与水平悬浮的工件之间的距离为8~15毫米。
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