[发明专利]提高400mm以上大直径单晶硅拉晶稳定性的方法无效
| 申请号： | 201410148669.5 | 申请日： | 2014-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN103911659A | 公开（公告）日： | 2014-07-09 |
| 发明（设计）人： | 李进;高忙忙;薛子文;李海波;李国龙;梁森;张洪岩;何力军 | 申请（专利权）人： | 宁夏大学 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B27/02;C30B15/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 750021 宁夏回族*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 提高 400 mm 以上 直径 单晶硅 稳定性 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种提高400mm以上大直径单晶硅拉晶稳定性的方法，该方法应用于直拉法制造单晶硅的生产工艺中，该提高400mm以上大直径单晶硅拉晶稳定性的方法包括如下步骤：
将直拉法制造单晶硅的生产工艺中的石英坩埚的尺寸设置为≥800mm；
在采用直拉法制造单晶硅的等径生长步骤中，在等径初期控制液口距的范围值为15～20mm。
2.根据权利要求1所述的提高400mm以上大直径单晶硅拉晶稳定性的方法，其特征在于：所述等径初期为等径开始至晶体直径达到300mm的阶段。
3.根据权利要求2所述的提高400mm以上大直径单晶硅拉晶稳定性的方法，其特征在于：在等径初期，控制晶体的旋转速度为8～9rpm，石英坩埚的旋转速度为5～6rpm。
4.根据权利要求2所述的提高400mm以上大直径单晶硅拉晶稳定性的方法，其特征在于：在等径初期，控制进口氩气流速为1.2m/s，且炉压为22Torr。
5.根据权利要求2所述的提高400mm以上大直径单晶硅拉晶稳定性的方法，其特征在于：在等径初期，控制等径拉速为0.75～1mm/min。
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