[发明专利]一种具有均压流道的均匀出流显影喷嘴有效
申请号: | 201410148971.0 | 申请日: | 2014-04-15 |
公开(公告)号: | CN103984213B | 公开(公告)日: | 2017-05-31 |
发明(设计)人: | 刘学平;王汉;徐强;向东;牟鹏;段广洪 | 申请(专利权)人: | 清华大学深圳研究生院 |
主分类号: | G03F7/30 | 分类号: | G03F7/30;B05B1/34 |
代理公司: | 深圳市汇力通专利商标代理有限公司44257 | 代理人: | 茅秀彬,王锁林 |
地址: | 518055 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 具有 均压流道 均匀 显影 喷嘴 | ||
1.一种具有均压流道的均匀出流显影喷嘴,其特征在于,包括:
喷嘴主体 ,该喷嘴主体内部依次设有进液流道、均压流道以及出射流道,该出射流道由阵列排布的若干小孔,该若干小孔位于该均压流道底部;
开有狭缝的矩形导流板,该矩形导流板安装于所述进液流道下端的法兰部,所述进液流道通过该导流板的狭缝与所述均压流道上部的导流斜面的配合过渡到所述均压流道;
具有喷嘴入口的盖板,该盖板与所述喷嘴主体密封连接;以及
排气装置,插接于所述喷嘴主体的一端,其内的排气管道与所述进液流道连通。
2.根据权利要求1所述的显影喷嘴,其特征在于,所述喷嘴主体的均压流道的上口部一侧设有一导流斜面,所述矩形导流板的狭缝位于所述导流斜面的上方。
3.根据权利要求2所述的显影喷嘴,其特征在于,所述狭缝的宽度为1-3mm,所述导流斜面的坡角在30°~60°之间。
4.根据权利要求1所述的显影喷嘴,其特征在于,所述喷嘴主体与所述盖板通过螺纹连接,所述喷嘴主体上表面环绕所述进液流道设密封凹槽,该密封凹槽中安装有密封圈。
5.根据权利要求1或2所述的显影喷嘴,其特征在于,所述喷嘴主体内部的均压流道的横截面呈长圆状或矩形,深度在10~100mm之间。
6.根据权利要求1或2所述的显影喷嘴,其特征在于,所述喷嘴主体内部的均压流道的底部斜面的坡角在30°~60°之间;所述出射流道的小孔孔径在0.2~1.0mm之间,深径比在1~10之间。
7.根据权利要求1或2所述的显影喷嘴,其特征在于,所述喷嘴主体的底面宽度为1~6mm,该底面侧面的斜面的坡角在30°~60°之间。
8.根据权利要求1所述的显影喷嘴,其特征在于,在所述喷嘴主体内,位于所述均压流道的两侧分别设置保温液循环流道。
9.根据权利要求1所述的显影喷嘴,其特征在于,所述排气装置内部设置排气管道,该排气管道与所述进液流道的排气孔连通。
10.具有均压流道的均匀出流显影喷嘴,其特征在于,包括:
喷嘴主体,该喷嘴主体内部依次设有进液流道、均压流道以及出射流道,该出射流道由阵列排布的若干小孔,该若干小孔位于所述均压流道底部;所述均压流道的上口部一侧设有一导流斜面,位于所述均压流道的两侧分别设置保温液循环流道;
矩形导流板,在该矩形导流板的长度方向上偏中开设一狭缝;该矩形导流板安装于所述进液流道下端的法兰部,该狭缝位于所述导流斜面的上方,所述进液流道通过该狭缝与所述导流斜面的配合过渡到所述均压流道;
具有喷嘴入口的盖板,该盖板与所述喷嘴主体密封连接;以及
排气装置,插接于所述喷嘴主体的一端,其内的排气管道与所述进液流道连通;
其中,所述均压流道的横截面呈长圆状或矩形,深度为10~100mm;所述导流斜面的坡角为30°~60°;所述狭缝的宽度为1-3mm。
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