[发明专利]太阳能电池以及用于生产太阳能电池的设备和方法

权利要求书

1.一种通过激光烧蚀产生至少一个具有表面的层并将其用作太阳能电池的部件的方法，其特征在于，待产生的表面区域包括至少0.2dm²的面积并且涂敷是通过采用超短脉冲激光沉积来实施的，其中，脉冲激光束是用包括至少一面用于反射所述激光束的镜的旋转光学扫描器来扫描的。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述表面区域是均匀表面区域。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述表面区域包括至少0.5dm²的面积。

4.一种太阳能电池，包括具有由激光烧蚀产生的表面的至少一个层，其特征在于，待产生的均匀表面区域包括至少0.2dm²的面积并且所述层是通过采用超短脉冲激光沉积而产生的，其中，脉冲激光束是用包括至少一面用于反射所述激光束的镜的旋转光学扫描器来扫描的。

5.根据权利要求4所述的太阳能电池，其特征在于，所述表面区域是均匀表面区域。

6.根据权利要求5所述的太阳能电池，其特征在于，所述均匀表面区域包括至少0.5dm²的面积。

7.一种用于生产太阳能电池的至少一个部件的设备，所述设备包括通过激光烧蚀产生具有表面的至少一个层的装置，其特征在于，待产生的表面区域包括至少0.2dm²的面积并且所述设备包括通过采用超短脉冲激光沉积来提供层的装置，其中，所述设备包括用于扫描脉冲激光束的旋转光学扫描器，所述旋转扫描器包括至少一面用于反射所述激光束的镜。

8.根据权利要求7所述的设备，其特征在于，所述表面区域是均匀表面区域。

9.根据权利要求7或8所述的设备，其特征在于，所述设备包括用于在同一个室中生产同一个太阳能电池的至少两个层的装置。

10.根据权利要求7或8所述的设备，其特征在于，所述设备包括用于在同一个室中对同一个太阳能电池的层或衬底进行机械加工的装置。