[发明专利]一种低温AF镀膜用蒸发装置有效
申请号: | 201410149215.X | 申请日: | 2014-04-15 |
公开(公告)号: | CN104004996A | 公开(公告)日: | 2014-08-27 |
发明(设计)人: | 范辛 | 申请(专利权)人: | 京浜光学制品(常熟)有限公司 |
主分类号: | C23C14/26 | 分类号: | C23C14/26 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 张俊范 |
地址: | 215500 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 低温 af 镀膜 蒸发 装置 | ||
1.一种低温AF镀膜用蒸发装置,包括置于真空炉内的镀膜伞具和蒸发源(7),其特征在于:所述镀膜伞具设有倾斜于水平面的侧板(2),侧板(2)倾斜角为70°~80°,所述侧板(2)用于放置待镀膜镜片(6);所述蒸发源(7)设置在镀膜伞具内,蒸发源(7)包括两条直立支架(71),所述直立支架(71)形成的平面与水平面夹角等于侧板(2)倾斜角,用于放置蒸镀药品的蒸发舟(73)设置在直立支架(71)上,所述蒸发舟(73)距离侧板(2)25cm~35cm。
2.根据权利要求1所述的低温AF镀膜用蒸发装置,其特征在于:所述直立支架(71)设有水平方向的蒸发电极(72),左右直立支架(71)上相对应的蒸发电极(72)组成电极组,所述蒸发舟(73)放置在电极组上。
3.根据权利要求2所述的低温AF镀膜用蒸发装置,其特征在于:所述直立支架(71)为L型,所述蒸发电极(72)设置在直立支架(71)的长腿段(71a)。
4.根据权利要求2所述的低温AF镀膜用蒸发装置,其特征在于:所述蒸发电极(72)设置在直立支架(71)的顶端、高度二分之一处和底端。
5.根据权利要求2所述的低温AF镀膜用蒸发装置,其特征在于:所述蒸发电极(72)设置在直立支架(71)的顶端、高度三分之一处、高度三分之二处和底端。
6.根据权利要求1或2所述的低温AF镀膜用蒸发装置,其特征在于:所述直立支架(71)高度为1m,采用2cm×2cm方形无氧铜材料。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于京浜光学制品(常熟)有限公司,未经京浜光学制品(常熟)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201410149215.X/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类