[发明专利]MEMS继电器、悬臂梁开关及其形成方法

权利要求书

1.一种MEMS继电器，其特征在于，包括：

至少一个悬臂梁开关对，所述悬臂梁开关对包括两个呈轴对称分布且二者的悬臂结构的自由端位置邻近的悬臂梁开关，每个所述悬臂梁开关包括：

悬臂结构；

驱动上电极，所述驱动上电极与所述悬臂结构的固定端相连；

驱动下电极，所述驱动下电极位于所述悬臂结构的下方，其中，所述驱动上电极和驱动下电极极性相反，用于输入驱动信号；

开关动触点，所述开关动触点位于所述悬臂结构的自由端且与所述悬臂结构绝缘；

两个开关静触点，两个所述开关静触点分别位于所述开关动触点的下方，所述开关动触点和所述两个开关静触点根据所述驱动信号而接触或分离；

开关引线，所述开关引线与所述开关静触点相连，用于输出控制信号，

其中，当两个所述悬臂梁开关为并联时，所述开关引线包括呈中心对称分布的两个F形引线，其中，每个所述F形引线的位于两条横边的两个末端各自与两个分属不同悬臂梁开关的开关静触点分别相连；

其中，当两个所述悬臂梁开关为串联时，所述开关引线包括呈轴对称分布的一个U形引线和两个L形引线，所述U形引线的两个末端将两个分属不同悬臂梁开关的开关静触点相连，所述两个L形引线的一个末端分别与剩下的两个开关静触点中的一个相连。

2.根据权利要求1所述的MEMS继电器，其特征在于，所述悬臂结构包括：

悬臂梁，所述悬臂梁位于所述悬臂结构的固定端；

接触梁，所述接触梁位于所述悬臂结构的自由端；

驱动极板，所述驱动极板位于所述悬臂梁和所述接触梁之间。

3.根据权利要求2所述的MEMS继电器，其特征在于，所述悬臂梁和所述接触梁中的至少之一具有镂空。

4.根据权利要求2所述的MEMS继电器，其特征在于，所述驱动极板上设有阻尼孔。

5.根据权利要求1所述的MEMS继电器，其特征在于，在同一所述悬臂梁开关对中，分属所述两个悬臂梁开关的两个悬臂结构是通过先在两个固定端之间形成连桥结构、然后从中间截断而得到的。

6.根据权利要求1所述的MEMS继电器，其特征在于，当所述悬臂梁开关对的数目为多个时，多个所述悬臂梁开关对之间的连接关系为串联、并联或者串并联综合。