[发明专利]一种飞秒激光高效率加工大深径比高质量微孔的方法

权利要求书

1.一种飞秒激光高效率加工大深径比高质量微孔的方法，其特征是所述方法包括以下步骤：

步骤1）采用飞秒激光系统产生近红外飞秒激光单脉冲，利用飞秒激光光学参量放大器将近红外飞秒激光单脉冲的波长调节为可见光，然后利用迈克尔逊干涉仪结构的光路把激光单脉冲调制为激光双脉冲，再利用连续衰减片调整激光双脉冲的总能量不小于待加工样品的加工阈值；

步骤2）使步骤1）中所得到的可见光双脉冲穿过光学快门，并通过物镜后垂直聚焦于待加工样品的上表面；

步骤3）利用光学快门控制可见光双脉冲的曝光时间，进而调整照射到待加工样品表面的激光脉冲个数，直至加工微孔的深度达到饱和。

2.如权利要求1所述的一种飞秒激光高效率加工大深径比高质量微孔的方法，其特征是：所述待加工样品为宽禁带透明材料。

3.如权利要求1所述的一种飞秒激光高效率加工大深径比高质量微孔的方法，其特征是：步骤1）中，可见光波长调节范围为480-780nm。

4.如权利要求1所述的一种飞秒激光高效率加工大深径比高质量微孔的方法，其特征是：步骤1）中，双脉冲两个子脉冲之间的延时时间为100-300fs。

5.如权利要求1所述的一种飞秒激光高效率加工大深径比高质量微孔的方法，其特征是：步骤2）中，借助纵向CCD和纵向白光光源实现样品的上表面成像并用以检测激光聚焦。

6.如权利要求1所述的一种飞秒激光高效率加工大深径比高质量微孔的方法，其特征是：步骤3）中，借助横向CCD和横向白光光源实时监测微孔的加工形貌。

7.如权利要求1所述的一种飞秒激光高效率加工大深径比高质量微孔的方法，其特征是：步骤3）中，使用氮气吹走加工过程中产生的碎屑。