[发明专利]一种利用工业含氟尾气酸提取高纯氟硅酸及二氧化硅的方法

权利要求书

1.一种利用工业含氟尾气酸提取高纯氟硅酸及二氧化硅的方法，其特征是：包括以下步骤：

步骤一、将能与氟硅酸反应生成氟硅酸盐的无机盐或无机碱与工业含氟尾气酸混合，充分反应后生成氟硅酸盐沉淀物；

步骤二、将氟硅酸盐沉淀物离心脱水，并用水洗去附着在氟硅酸盐沉淀物上的杂质；

步骤三、将氟硅酸盐沉淀物放入干燥器内干燥至含水量(以重量份计)1%以下，得到干燥的氟硅酸盐；

步骤四、将干燥的氟硅酸盐放入分解炉内加热分解，温度范围为350℃至950℃之间，氟硅酸盐分解产生四氟化硅气体和无机氟盐；

步骤五、将四氟化硅气体引入气体净化器，除去四氟化硅气体中的杂质；

步骤六、将经过净化处理的四氟化硅气体用超纯水多级鼓泡吸收，生成超纯氟硅酸和超纯二氧化硅沉淀物；

步骤七、将超纯氟硅酸和超纯二氧化硅沉淀物进行固液分离，使用过滤设备将二氧化硅沉淀物滤出，余液为超纯氟硅酸，沉淀物用水洗去附着的氟硅酸，干燥后即得超纯固体二氧化硅。

2.根据权利要求1所述的一种利用工业含氟尾气酸提取高纯氟硅酸及二氧化硅的方法，其特征是：所述的步骤一中能与氟硅酸反应生成氟硅酸盐的无机盐或无机碱为氢氧化钠或氯化钠或氢氧化钾或氯化钾或氢氧化镁或氯化镁。

3.根据权利要求1所述的一种利用工业含氟尾气酸提取高纯氟硅酸及二氧化硅的方法，其特征是：所述的步骤四中分解炉内置坩埚，炉盖上置有投料口及出气口，炉体上开有出料口，步骤四中分解产生的四氟化硅气体由所述的出气口导出。

4.根据权利要求1所述的一种利用工业含氟尾气酸提取高纯氟硅酸及二氧化硅的方法，其特征是：所述的步骤五中引入气体净化器的四氟化硅气体是经步骤四加热的、尚未冷却的四氟化硅气体。

5.根据权利要求4所述的一种利用工业含氟尾气酸提取高纯氟硅酸及二氧化硅的方法，其特征是：所述的步骤五中将四氟化硅气体引入气体净化器后，在气体净化器中加入极少量水，使四氟化硅气体水解出二氧化硅，并通过多孔性的二氧化硅吸附四氟化硅气体中的杂质。

6.根据权利要求1所述的一种利用工业含氟尾气酸提取高纯氟硅酸及二氧化硅的方法，其特征是：所述的步骤六中的超纯氟硅酸中的杂质为(重量份计)0.01%以下，超纯二氧化硅纯度为(重量份计)99.99%以上。

7.根据权利要求5所述的一种利用工业含氟尾气酸提取高纯氟硅酸及二氧化硅的方法，其特征是：在所述的气体净化器中加入的水与引入气体净化器的四氟化硅气体的重量比不高于1%。

8.根据权利要求1所述的一种利用工业含氟尾气酸提取高纯氟硅酸及二氧化硅的方法，其特征是：所述的步骤一之前还设有初步除杂步骤：在工业含氟尾气酸中加入黄丹粉除去氟硅酸中的硫酸根离子，再将工业含氟尾气酸经过滤除去固体杂质。