[发明专利]一种基于压电陶瓷对直线电机直线度的在线补偿装置

权利要求书

1. 一种基于压电陶瓷对直线电机直线度的在线补偿装置，其特征在于包括有直线电机基座（1）、直线电机导轨（2）、直线电机滑块（3）、压电陶瓷块(4)、直线电机工作台（5）、激光感应器(6)、激光发射器（7）、直线电机限位挡板（8）,其中直线电机导轨（2）安装在直线电机基座（1）上，两块直线电机限位挡板（8）分别安装在直线电机导轨（2）的两端，直线电机滑块（3）安装在直线电机导轨（2）上，并在直线电机导轨（2）上滑动，压电陶瓷块(4)安装在直线电机滑块（3）上，直线电机工作台（5）安装在压电陶瓷块(4)上；激光感应器（6）安装在直线电机工作台（5）的一端面上，用以接收激光发射器（7）发出的激光束（9）信号，激光发射器（7）安装在与激光感应器（6）同侧的直线电机限位挡板（8）上，且激光发射器（7）的安装位置为当直线电机工作台（5）在垂直方向上失去直线度时，激光发射器（7）发出的激光束（9）能照射到激光感应器（6）上。

2.根据权利要求1所述的基于压电陶瓷对直线电机直线度的在线补偿装置，其特征在于上述压电陶瓷块（4）上加工有至少两个压电陶瓷块定位孔（11），直线电机工作台（5）上加工有至少两个相应的直线电机工作台定位柱（10），直线电机工作台（5）通过直线电机工作台定位柱（10）安装在压电陶瓷块（4）上所设的相应的压电陶瓷块定位孔（11）上实现定位；或直线电机工作台（5）上加工有至少两个定位孔，压电陶瓷块（4）上加工有至少两个相应的定位柱，直线电机工作台（5）通过定位孔安装在压电陶瓷块（4）上所设的相应的定位柱上实现定位。

3.根据权利要求2所述的基于压电陶瓷对直线电机直线度的在线补偿装置，其特征在于上述压电陶瓷块（4）上加工有四个压电陶瓷块定位孔（11），直线电机工作台（5）上加工有四个相应的直线电机工作台定位柱（10），直线电机工作台（5）通过直线电机工作台定位柱（10）安装在压电陶瓷块（4）上所设的四个相应的压电陶瓷块定位孔（11）上实现定位；或直线电机工作台（5）上加工有四个定位孔，压电陶瓷块（4）上加工有四个相应的定位柱，直线电机工作台（5）通过定位孔安装在压电陶瓷块（4）上所设的四个相应的定位柱上实现定位。

4.根据权利要求3所述的基于压电陶瓷对直线电机直线度的在线补偿装置，其特征在于上述直线电机滑块（3）上也设有至少两个直线电机滑块定位孔（12），直线电机滑块（3）所设的直线电机滑块定位孔（12）与压电陶瓷块（4）上设有的压电陶瓷块定位孔（11）的位置相对应，直线电机工作台（5）通过所设的直线电机工作台定位柱（10）插入直线电机滑块（3）所设的直线电机滑块定位孔（12）及压电陶瓷块（4）上所设的压电陶瓷块定位孔（11）上实现定位；直线电机工作台（5）所设的定位柱（12）与直线电机滑块（3）所设的直线电机滑块定位孔（12）及压电陶瓷块（4）上设有的压电陶瓷块定位孔（11）实现安装配合。

5.根据权利要求2至4任一项所述的基于压电陶瓷对直线电机直线度的在线补偿装置，其特征在于上述直线电机工作台（5）所设的直线电机工作台定位柱（10）与直线电机工作台（5）为一体做出。

6.根据权利要求5所述的基于压电陶瓷对直线电机直线度的在线补偿装置，其特征在于上述直线电机导轨（2）通过两块直线电机限位挡板（8）安装在直线电机基座（1）上，其中两块直线电机限位挡板（8）安装在直线电机基座（1）的两端，直线电机导轨（2）的两端分别支承在两块直线电机限位挡板（8）上。