[发明专利]一种非金属悬浮抛光液及其制备方法

权利要求书

1.一种硅晶半导体悬浮磨削油及其制备方法，其特征是：一种硅晶半导体悬浮磨削油包括金刚石微粒、稀土悬浮剂、分散助剂、润滑剂、悬浮助剂、酸碱调节剂、消泡剂、杀菌剂和去离子水，各组分及其重量份为：

一种非金属悬浮抛光液的制备方法是：在搅拌的条件下，依次将分散助剂、稀土悬浮剂、悬浮助剂、消泡剂、杀菌剂加入到去离子水中，强烈机械搅拌0.5～1.0小时，待各组分溶解均匀后，最后将酸碱调节剂加入到其中，调剂PH=8～11，再搅拌0.5小时，停止搅拌，即可得产品。

2.根据权利要求1所述的一种脂肪醇醚烷酰基氨基酸钠的合成方法，其特征是：所述的金刚石微粒优选聚晶金刚石微粒和纳米金刚石微粒；所述的分散助剂是聚乙二醇、聚丙二醇、烯丙基聚乙二醇、甲氧基聚乙二醇和N-酰基氨基酸盐优选N-辛酰基谷氨酸盐，N-月桂酰基甘氨酸盐、N-月桂酰基缬氨酸盐、N-月桂酰基亮氨酸盐、N-月桂酰基丙氨酸盐、N-月桂酰基谷氨酸盐、N-月桂酰基天冬氨酸盐、N-棕榈酰基甘氨酸盐、N-棕榈酰基缬氨酸盐、N-棕榈酰基亮氨酸盐、N-棕榈酰基丙氨酸盐、N-棕榈酰基谷氨酸盐、N-棕榈酰基天冬氨酸盐、N-豆蔻酰基甘氨酸盐、N-豆蔻酰基缬氨酸盐、N-豆蔻酰基丙氨酸盐、N-豆蔻酰基亮氨酸盐、N-豆蔻酰基天冬氨酸盐、N-豆蔻酰基谷氨酸盐、N-油酰基甘氨酸盐、N-油酰基谷氨酸盐、N-油酰基天冬氨酸盐。

3.根据权利要求2所述的一种脂肪醇醚烷酰基氨基酸钠的合成方法，其特征是：所述的润滑剂是聚氧乙烯-聚氧丙烯共聚物，优选异构十三醇无规聚醚、十二醇无规聚醚、丙二醇无规聚醚、丙三醇无规聚醚、丁醇无规聚醚和月桂酸无规聚醚，所述的悬浮助剂是黄原胶、桃胶、琼酯、丙烯酸酰胺和硅藻酸钠中的一种或几种；所述的酸碱调节剂是碱金属的氢氧化物、碱金属碳酸盐、羟乙基胺、羟乙基叔胺、柠檬酸和辛酸中的一种或几种；所述的杀菌剂优选苯并异噻唑-3-酮，5-氯甲基异噻唑啉酮和羟乙基六氢均三嗪。