[发明专利]一种TFT玻璃薄化预处理方法有效
| 申请号： | 201410154888.4 | 申请日： | 2014-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN103951270A | 公开（公告）日： | 2016-10-19 |
| 发明（设计）人： | 李高贵 | 申请（专利权）人： | 苏州凯利昂光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王淑丽 |
| 地址： | 215433 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 tft 玻璃 预处理 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种TFT玻璃薄化预处理方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤一,在密闭容器中注入体积比分别为90-95%、3-5%、2-5%的浓硫酸、浓盐酸以及氢氟酸的混合酸液；
步骤二,在密闭容器中将混合酸液加热至28-30℃同时鼓泡搅拌均匀；
步骤三,把混合酸液注入蚀刻设备中，持续鼓泡搅拌30-60分钟至搅拌均匀；
步骤四，把需要薄化处理的TFT玻璃浸泡在混合液中持续15-60分钟，去玻璃表面双层50-80微米；
步骤五,把经过预处理的TFT玻璃洗净保湿，再放入氢氟酸蚀刻液中进行薄化处理。
2.如权利要求1所述的TFT玻璃薄化预处理方法，其特征在于，所述混合酸液的体积比为浓硫酸90%、浓盐酸5%、氢氟酸5%。
3.如权利要求1所述的TFT玻璃薄化预处理方法，其特征在于，所述混合酸液的体积比为浓硫酸92.23%、浓盐酸2.91%、氢氟酸4.86%。
4.如权利要求1所述的TFT玻璃薄化预处理方法，其特征在于，所述混合酸液的体积比为浓硫酸95%、浓盐酸3%、氢氟酸2%。
5.如权利要求1-4所述的TFT玻璃薄化预处理方法，其特征在于，所述的浓硫酸浓度为80%、浓盐酸浓度为30%、氢氟酸浓度为50%。
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