[发明专利]芯片背面及侧面涂布保护材料的方法有效
申请号: | 201410155286.0 | 申请日: | 2014-04-18 |
公开(公告)号: | CN103972073A | 公开(公告)日: | 2014-08-06 |
发明(设计)人: | 黄永发;张子岳;黄正信;刘家宾;温国豪;邓月忠;王焕菊 | 申请(专利权)人: | 丽智电子(昆山)有限公司 |
主分类号: | H01L21/304 | 分类号: | H01L21/304;H01L21/56;H01L21/68 |
代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人: | 董建林 |
地址: | 215316 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 芯片 背面 侧面 保护 材料 方法 | ||
技术领域
本发明属于半导体芯片封装技术领域,具体设计一种芯片背面及侧面涂布保护材料的方法。
背景技术
半导体芯片加工后需要涂布保护材料,以达到绝缘保护功能。现有已知技术在涂布保护材料时将切割完毕的芯片,一片片挑拣至特定治具上,再将保护材料,均匀涂在芯片四周以达到绝缘保护之目的。这种封装方法即效率低下又容易出现遗漏或者涂布不均匀。
发明内容
为解决现有技术的不足,本发明的目的在于能够快速、均匀涂布的芯片背面及侧面涂布保护材料的方法。
为了实现上述目标,本发明采用如下的技术方案:
芯片背面及侧面涂布保护材料的方法,对原始的芯片组件进行加工,所述芯片组件为具有凸点的芯片板,所述芯片板具有凸点的一面为芯片板的正面,其背面即为芯片板的背面,所述芯片板其余的面均为芯片板的侧面;其特征在于,操作步骤依次如下:
(1)将芯片板放置在蓝膜张贴机上,在芯片板的背面张贴第一蓝膜;
(2)对背面张贴第一蓝膜的芯片板进行切割,将芯片板切割成独立的芯片;
(3)在切割后的独立的芯片正面张贴第二蓝膜;
(4)取下独立的芯片背面的第一蓝膜,露出独立的芯片的背面及侧面;
(5)在独立的芯片的背面及侧面涂布保护材料并固化;
(6)在保护材料外侧张贴第三蓝膜;
(7)取下独立的芯片的正面的第二蓝膜;
(8)对涂布有保护材料的芯片进行二次切割;
(9)取出芯片,形成独立的背面及侧面涂布有保护材料的芯片。
前述的芯片背面及侧面涂布保护材料的方法,其特征在于,所述步骤(1),将背面张贴第一蓝膜的芯片板放置在固定框架中,芯片板的外周紧贴固定框架。
前述的芯片背面及侧面涂布保护材料的方法,其特征在于,所述固定框架为金属框或塑料框。
前述的芯片背面及侧面涂布保护材料的方法,其特征在于,所述步骤(2),将芯片板放入切割机进行切割。
前述的芯片背面及侧面涂布保护材料的方法,其特征在于,所述步骤(5),先将芯片放入涂布机,使保护材料涂布于芯片板的背面及侧面,再将芯片取出,放入固化装置中,设定时间、温度对保护材料进行固化。
前述的芯片背面及侧面涂布保护材料的方法,其特征在于,还包括步骤(3a):解除第一蓝膜对芯片的背面的胶粘性。
前述的芯片背面及侧面涂布保护材料的方法,其特征在于,所述第一蓝膜为UV蓝膜。
前述的芯片背面及侧面涂布保护材料的方法,其特征在于,所述步骤(3a),将芯片放入UV机,通过UV光照射设定时间、温度解除第一蓝膜的UV胶对芯片的背面的胶粘性。
前述的芯片背面及侧面涂布保护材料的方法,其特征在于,所述步骤(3a)位于步骤(2)、(3)之间或者所述步骤(3a)位于步骤(3)、(4)之间。
前述的芯片背面及侧面涂布保护材料的方法,其特征在于,所述步骤(1)中,芯片板的正面朝上;所述步骤(2)、(3)、(4)、(8)中,芯片的正面朝上;所述步骤(3a)、(5)、(6)、(7)、(9)中,芯片的背面朝上。
本发明的有益之处在于:由多个蓝膜配合使用,保证切割后的芯片仍然为一个整体,进行整体的涂布加工,节省人工,工时也较缩短,大幅度的降低芯片的整个制造成本。
具体实施方式
以下对本发明作具体的介绍。
本发明芯片背面及侧面涂布保护材料的方法,对原始的芯片组件进行加工,所述芯片组件为具有凸点的芯片板,芯片板具有凸点的一面为芯片板的正面,芯片板具有凸点的一面的背面即为芯片板的背面,芯片板其余的面均为芯片板的侧面。具体操作步骤依次如下:
(1)将芯片板放置在蓝膜张贴机上,在芯片板的背面张贴第一蓝膜;将背面张贴第一蓝膜的芯片板放置在固定框架中,芯片板的外周紧贴固定框架。固定框架为金属框或塑料框;
(2)对背面张贴第一蓝膜的芯片板进行切割,将芯片板切割成独立的芯片;将芯片板放入切割机进行切割,切割机使用切割刀或者激光进行切割。切割机仅对芯片板进行切割,并不切割到第一蓝膜,因此第一蓝膜使得切割后独立的芯片仍然为一个整体。同时固定框架也可以保证切割后的独立的芯片仍然保持为一个整体;
(3)在切割后的独立的芯片正面张贴第二蓝膜,第二蓝膜可以保护芯片的正面避免渗入保护材料;
(4)取下独立的芯片背面的第一蓝膜,露出独立的芯片的背面及侧面,由于第二蓝膜的存在,独立的芯片仍然保持一个整体;
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于丽智电子(昆山)有限公司,未经丽智电子(昆山)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201410155286.0/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:三相桥式PWM变流器
- 下一篇:一种半导体精细特征尺寸图形的形成方法
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造