[发明专利]芯片背面及侧面涂布保护材料的方法有效

专利信息
申请号: 201410155286.0 申请日: 2014-04-18
公开(公告)号: CN103972073A 公开(公告)日: 2014-08-06
发明(设计)人: 黄永发;张子岳;黄正信;刘家宾;温国豪;邓月忠;王焕菊 申请(专利权)人: 丽智电子(昆山)有限公司
主分类号: H01L21/304 分类号: H01L21/304;H01L21/56;H01L21/68
代理公司: 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 代理人: 董建林
地址: 215316 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 芯片 背面 侧面 保护 材料 方法
【说明书】:

技术领域

发明属于半导体芯片封装技术领域,具体设计一种芯片背面及侧面涂布保护材料的方法。

背景技术

半导体芯片加工后需要涂布保护材料,以达到绝缘保护功能。现有已知技术在涂布保护材料时将切割完毕的芯片,一片片挑拣至特定治具上,再将保护材料,均匀涂在芯片四周以达到绝缘保护之目的。这种封装方法即效率低下又容易出现遗漏或者涂布不均匀。

发明内容

为解决现有技术的不足,本发明的目的在于能够快速、均匀涂布的芯片背面及侧面涂布保护材料的方法。

为了实现上述目标,本发明采用如下的技术方案:

芯片背面及侧面涂布保护材料的方法,对原始的芯片组件进行加工,所述芯片组件为具有凸点的芯片板,所述芯片板具有凸点的一面为芯片板的正面,其背面即为芯片板的背面,所述芯片板其余的面均为芯片板的侧面;其特征在于,操作步骤依次如下:

(1)将芯片板放置在蓝膜张贴机上,在芯片板的背面张贴第一蓝膜;

(2)对背面张贴第一蓝膜的芯片板进行切割,将芯片板切割成独立的芯片;

(3)在切割后的独立的芯片正面张贴第二蓝膜;

(4)取下独立的芯片背面的第一蓝膜,露出独立的芯片的背面及侧面;

(5)在独立的芯片的背面及侧面涂布保护材料并固化;

(6)在保护材料外侧张贴第三蓝膜;

(7)取下独立的芯片的正面的第二蓝膜;

(8)对涂布有保护材料的芯片进行二次切割;

(9)取出芯片,形成独立的背面及侧面涂布有保护材料的芯片。

前述的芯片背面及侧面涂布保护材料的方法,其特征在于,所述步骤(1),将背面张贴第一蓝膜的芯片板放置在固定框架中,芯片板的外周紧贴固定框架。

前述的芯片背面及侧面涂布保护材料的方法,其特征在于,所述固定框架为金属框或塑料框。

前述的芯片背面及侧面涂布保护材料的方法,其特征在于,所述步骤(2),将芯片板放入切割机进行切割。

前述的芯片背面及侧面涂布保护材料的方法,其特征在于,所述步骤(5),先将芯片放入涂布机,使保护材料涂布于芯片板的背面及侧面,再将芯片取出,放入固化装置中,设定时间、温度对保护材料进行固化。

前述的芯片背面及侧面涂布保护材料的方法,其特征在于,还包括步骤(3a):解除第一蓝膜对芯片的背面的胶粘性。

前述的芯片背面及侧面涂布保护材料的方法,其特征在于,所述第一蓝膜为UV蓝膜。

前述的芯片背面及侧面涂布保护材料的方法,其特征在于,所述步骤(3a),将芯片放入UV机,通过UV光照射设定时间、温度解除第一蓝膜的UV胶对芯片的背面的胶粘性。

前述的芯片背面及侧面涂布保护材料的方法,其特征在于,所述步骤(3a)位于步骤(2)、(3)之间或者所述步骤(3a)位于步骤(3)、(4)之间。

前述的芯片背面及侧面涂布保护材料的方法,其特征在于,所述步骤(1)中,芯片板的正面朝上;所述步骤(2)、(3)、(4)、(8)中,芯片的正面朝上;所述步骤(3a)、(5)、(6)、(7)、(9)中,芯片的背面朝上。

本发明的有益之处在于:由多个蓝膜配合使用,保证切割后的芯片仍然为一个整体,进行整体的涂布加工,节省人工,工时也较缩短,大幅度的降低芯片的整个制造成本。

具体实施方式

以下对本发明作具体的介绍。

本发明芯片背面及侧面涂布保护材料的方法,对原始的芯片组件进行加工,所述芯片组件为具有凸点的芯片板,芯片板具有凸点的一面为芯片板的正面,芯片板具有凸点的一面的背面即为芯片板的背面,芯片板其余的面均为芯片板的侧面。具体操作步骤依次如下:

(1)将芯片板放置在蓝膜张贴机上,在芯片板的背面张贴第一蓝膜;将背面张贴第一蓝膜的芯片板放置在固定框架中,芯片板的外周紧贴固定框架。固定框架为金属框或塑料框;

(2)对背面张贴第一蓝膜的芯片板进行切割,将芯片板切割成独立的芯片;将芯片板放入切割机进行切割,切割机使用切割刀或者激光进行切割。切割机仅对芯片板进行切割,并不切割到第一蓝膜,因此第一蓝膜使得切割后独立的芯片仍然为一个整体。同时固定框架也可以保证切割后的独立的芯片仍然保持为一个整体;

(3)在切割后的独立的芯片正面张贴第二蓝膜,第二蓝膜可以保护芯片的正面避免渗入保护材料;

(4)取下独立的芯片背面的第一蓝膜,露出独立的芯片的背面及侧面,由于第二蓝膜的存在,独立的芯片仍然保持一个整体;

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