[发明专利]一种高NA投影物镜

权利要求书

1.一种高NA投影物镜，包括第一单元（L1）、第二单元（L2）、第三单元（L3）、第四单元（L4）、第五单元（L5）、第六单元（L6）、第七单元（L7）、第八单元（L8）、第九单元（L9）和第十单元（L10），其特征在于，第一单元（L1）具有正光焦度，第二单元（L2）具有正光焦度，第三单元(L3)具有正光焦度，第四单元（L4）为45°放置的平面反射镜，第五单元（L5）具有正光焦度，第六单元（L6）为45°放置的平面反射镜，第七单元（L7）具有负光焦度，第八单元（L8）具有正光焦度，第九单元（L9）具有负光焦度，第十单元（L10）具有负光焦度;

第一单元（L1）包括第一正透镜（1）、第二正透镜（2）、第一负透镜（3）和第三正透镜（4）;

第二单元（L2）包括第四正透镜（5）和第二负透镜（6）；

第三单元（L3）包括第五正透镜（7），第六正透镜（8）和第七正透镜（9）；

第四单元（L4）包括第一平面反射镜（10）；

第五单元（L5）包括第三负透镜（11），第四负透镜（12），第八正透镜（13）和第一曲面反射镜（14）；

第六单元（L6）包括第二平面反射镜（18）；

第七单元（L7）包括第五负透镜（19），第六负透镜（20）和第七负透镜（21）；

第八单元（L8）包括第九正透镜（22），第十正透镜（23）和第八负透镜（24）；

第九单元（L9）包括第九负透镜（25），第十负透镜（26），第十一负透镜（27），第十二负透镜（28）；

第十单元（L10）包括第十三负透镜（29），第十四负透镜（30），第十五负透镜（31）。

2.根据权利要求1所述的一种高NA投影物镜，其特征在于：所述的一种高NA投影物镜中包括有18个非球面。

3.根据权利要求1所述的一种高NA投影物镜，其特征在于：所述的一种高NA投影物镜折射镜使用的光学材料都是熔石英。

4.根据权利要求1所述的一种高NA投影物镜，其特征在于：所述的一种高NA投影物镜的缩小倍率为1/4。