[发明专利]一种UV激光钻孔制备多层结构通孔的方法

权利要求书

1.一种UV激光钻孔制备多层结构通孔的方法，步骤：激光束在工件表面按照一定的轨迹分多步加工形成所需通孔，UV激光钻孔采用分多步且每步与工件接触时间极短成型，对于包含多种不同汽化阈值物质的多层工件具有很好的成型效果，使汽化阈值较高的材质产生最低程度热效应，从而使耐热性较差材质由于热效应而被去除的量最小化，最终制备出较好孔型的高厚径比通孔，有效地解决了包含耐热性较差材质的多层结构工件凹蚀严重，孔型较差的问题，提高了加工质量。

2.根据权利要求1所述的一种UV激光钻孔制备多层结构通孔的方法，其特征是UV激光分多步且每步与工件接触时间极短成型，使汽化阈值较高的材质产生最低程度热效应，从而使耐热性较差材质由于热效应而被去除的量最小化，最终制备出较好孔型的高厚径比通孔。

3.根据权利要求1所述的一种UV激光钻孔制备多层结构通孔的方法，其特征是激光光束以高速环切方式分多步成型多层工件导通孔，每步钻孔参数一致。

4.根据权利要求1所述的一种UV激光钻孔制备多层结构通孔的方法，其特征是多层结构工件层数大于或等于7，且至少含有3中不同材质，其中一种耐热性较差。

5.根据权利要求1所述的一种UV激光钻孔制备多层结构通孔的方法，其特征是激光光束每步成型过程中，整个工件所包含微孔去除量一致。

6.根据权利要求1所述的一种UV激光钻孔制备多层结构通孔的方法，其特征是激光光束每步成型完整个工件所有微孔后，再回到第一个微孔位置开始下一步工作。