[发明专利]电子纸的阵列基板及其制造方法和电子纸有效
申请号: | 201410155963.9 | 申请日: | 2014-04-17 |
公开(公告)号: | CN103972241B | 公开(公告)日: | 2017-02-08 |
发明(设计)人: | 田宗民;张金中;谢振宇 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L21/77;G06F3/041 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 | 代理人: | 彭瑞欣,陈源 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电子 阵列 及其 制造 方法 | ||
1.一种用于电子纸的阵列基板,其特征在于,所述阵列基板包括多条信号发射线、多条感应信号线和多个光敏薄膜晶体管,所述光敏薄膜晶体管的源极和漏极设置在所述感应信号线上,所述信号发射线与所述光敏薄膜晶体管的栅极相连,所述光敏薄膜晶体管的有源层的位置与所述电子纸中相邻两个电子墨水之间的间隙相对应。
2.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述阵列基板包括多条栅线、多条数据线和多个开关薄膜晶体管,所述开关薄膜晶体管的栅极与所述栅线相连,所述开关薄膜晶体管的源极设置在所述数据线上,所述开关薄膜晶体管的漏极与像素电极电连接,且所述开关薄膜晶体管的栅极与所述光敏薄膜晶体管的栅极位于同一层,所述开关薄膜晶体管的源极和漏极与所述光敏薄膜晶体管的源极和漏极位于同一层,所述开关薄膜晶体管的有源层与所述光敏薄膜晶体管的有源层位于同一层,且所述开关薄膜晶体管的有源层上方设置有用于挡光的挡光金属层。
3.根据权利要求2所述的阵列基板,其特征在于,所述光敏薄膜晶体管的漏极与开关薄膜晶体管的源极连接,所述感应信号线与所述数据线形成为一体。
4.根据权利要求3所述的阵列基板,其特征在于,所述光敏薄膜晶体管的栅极上形成有公共电极,所述信号发射线与所述栅线形成为一体。
5.根据权利要求2至4中任意一项所述的阵列基板,其特征在于,所述光敏薄膜晶体管的源极和漏极与所述光敏薄膜晶体管的有源层位于同一层,
所述光敏薄膜晶体管的源极和漏极由碳纳米管材料制成,所述光敏薄膜晶体管的有源层由利用紫外线照射氧气处理过的碳纳米管材料制得;或者
所述光敏薄膜晶体管的源极和漏极由石墨烯材料制成,所述光敏薄膜晶体管的有源层由利用氢气或氩气处理石墨烯材料制得。
6.根据权利要求2至4中任意一项所述的阵列基板,其特征在于,所述阵列基板的最顶层设置有像素电极,所述像素电极与所述开关薄膜晶体管的漏极电连接。
7.一种电子纸,该电子纸包括对盒的阵列基板和透明电极基板,所述电子纸还包括设置在所述阵列基板和所述透明电极基板之间的电子墨水,其特征在于,所述阵列基板为权利要求1至6中任意一项所述的阵列基板,所述电子纸还包括触摸驱动电路和触摸控制电路,所述触摸驱动电路包括触摸驱动单元和触摸感应单元,所述触摸驱动单元与所述信号发射线相连,向所述信号发射线提供触控驱动信号,所述触摸感应单元与所述感应信号线相连,向所述感应信号线提供感应信号,所述触摸控制电路与所述感应信号线相连,且所述触摸控制电路能够接收所述感应信号线的电信号。
8.根据权利要求7所述的电子纸,其特征在于,所述电子纸的工作周期包括触控周期和显示周期,所述电子纸还包括显示控制器,所述阵列基板的栅线和数据线与所述显示控制器电连接,在所述触控周期内,所述触摸驱动电路提供所述触控驱动信号和所述感应信号,在所述显示周期内,所述显示控制器提供显示信号。
9.一种用于电子纸的阵列基板的制造方法,其特征在于,所述制造方法包括:
形成包括信号发射线和光敏薄膜晶体管的栅极的图形,其中,所述光敏薄膜晶体管的栅极与所述信号发射线相连;
在阵列基板上对应于电子纸的两个电子墨水之间的间隙的位置形成包括所述光敏薄膜晶体管的有源层的图形;
形成包括所述光敏薄膜晶体管的源极、漏极以及感应信号线的图形,其中,所述光敏薄膜晶体管的源极和所述光敏薄膜晶体管的漏极设置在所述感应信号线上。
10.根据权利要求9所述的制造方法,其特征在于,在形成所述光敏薄膜晶体管的有源层的同时形成阵列基板的开关薄膜晶体管的有源层;
在形成所述光敏薄膜晶体管的源极和漏极的同时形成所述开关薄膜晶体管的源极和漏极以及所述阵列基板的数据线;
在形成所述光敏薄膜晶体管的栅极的同时形成所述开关薄膜晶体管的栅极以及所述阵列基板的栅线;
在所述开关薄膜晶体管的有源层的上方形成包括挡光金属层的图形,该挡光金属层与所述开关薄膜晶体管的有源层间隔设置,且遮挡射向所述开关薄膜晶体管的有源层的光线。
11.根据权利要求10所述的制造方法,其特征在于,所述光敏薄膜晶体管的源极和漏极与开关薄膜晶体管的源极和漏极串联,所述感应信号线与所述数据线形成为一体;和/或,所述信号发射线与所述栅线形成为一体。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的