[发明专利]等离子体蒸发装置

权利要求书

1.一种等离子体蒸发装置，其在腔室内使蒸发材料蒸发，所述等离子体蒸发装置具备：

多个等离子枪，经由设置在所述腔室的侧壁的等离子体口与所述腔室连接，用于在所述腔室内生成并射出等离子束而蒸发所述蒸发材料；以及

多个炉缸部，在所述腔室内与所述多个等离子枪分别对应地设置，

所述多个等离子枪沿与射出所述等离子束的方向即Y轴方向的正方向交叉的方向即Z轴方向排列设置，

在与所述Y轴方向的正方向以及所述Z轴方向这两个方向交叉的X轴方向上，所述多个炉缸部位于相比所述多个等离子枪靠负的方向即X轴负方向，

并且，沿所述Z轴方向排列配置所述多个炉缸部，

所述多个炉缸部中的各个炉缸部具有：

主炉缸，填充有所述蒸发材料；以及

环炉缸，配置成包围所述主炉缸，并吸引从所述多个等离子枪中的一个等离子枪射出的等离子束，

所述多个等离子枪包括：

第1等离子枪，在等离子束的射出方向上即所述Y轴方向的正方向上具有磁力线方向；及

第2等离子枪，在与等离子束的射出方向相反的方向上即Y轴方向的负方向上具有磁力线方向，

且所述多个等离子枪被配置成：

从所述X轴方向的正方向朝向负方向的方向上观察时，所述第2等离子枪相对于所述第1等离子枪不排列在将所述Y轴方向的正方向作为前方时的右侧。

2.根据权利要求1所述的等离子体蒸发装置，其中，

所述多个等离子枪并列设置成满足控制其等离子束的射出方向的转向线圈所涉及的下式(1)的关系式，

φs×1.1＜D＜φs×2.0…(1)

其中，

φs：所述转向线圈的直径，

D：所述多个等离子枪之间的距离。

3.根据权利要求1或2所述的等离子体蒸发装置，其中，

所述多个炉缸部中的各个炉缸部配置成，所填充的所述蒸发材料的中心位置在所述Z轴方向上偏离从对应的所述等离子枪射出的等离子束的射出轴。

4.根据权利要求1或2所述的等离子体蒸发装置，其中，

所述多个炉缸部中的各个炉缸部设置成能够相对移动，以使所填充的所述蒸发材料的中心位置在所述Z轴方向上相对于从对应的所述等离子枪射出的等离子束的射出轴偏离。