[发明专利]光刻机照明光源的描述方法有效
申请号: | 201410160574.5 | 申请日: | 2014-04-21 |
公开(公告)号: | CN103926803A | 公开(公告)日: | 2014-07-16 |
发明(设计)人: | 杨朝兴;王向朝;李思坤 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人: | 张泽纯 |
地址: | 201800 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光刻 照明 光源 描述 方法 | ||
1.一种光刻机照明光源的描述方法,其特征在于该方法通过一组相互重叠的圆形子照明光源的坐标和光强等参数描述光刻机照明光源,包含以下步骤,
步骤A,输入照明光源描述矢量
[rσ1,r1,θ1,g1,…,rσi,ri,θi,gi,…,rσN,rN,θN,gN],
其中圆形子照明光源的圆心坐标为[ri,θi],半径为rσi,光强为gi,数量为N;
步骤B,建立直角坐标网格,网格步长Δd<min(rσi);
步骤C,根据照明光源描述矢量得到直角坐标网格上的光刻机照明光源分布 其中
步骤D,后处理;
其中步骤D后处理包含以下子步骤:
步骤D1,增加背景光强Ibg:Iwith bg(x,y)=I(x,y)+Ibg;
步骤D2,平滑处理:其中为卷积运算,kernel为卷积核函数。
2.根据权利要求1所述的光刻机照明光源的描述方法,其特征在于所述步骤D1的背景光强Ibg等于光刻机照明光源制造商制造的光刻机照明光源的平均背景光强。
3.根据权利要求1所述的光刻机照明光源的描述方法,其特征在于所述步骤D2的卷积核函数kernel是高斯函数、或光刻机照明光源系统的点扩散函数。
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