[发明专利]矩形孔单级衍射光栅有效
申请号: | 201410160786.3 | 申请日: | 2014-04-22 |
公开(公告)号: | CN103901519B | 公开(公告)日: | 2017-05-24 |
发明(设计)人: | 曹磊峰;刘钰薇;魏来;杨祖华 | 申请(专利权)人: | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
主分类号: | G02B5/18 | 分类号: | G02B5/18 |
代理公司: | 中国工程物理研究院专利中心51210 | 代理人: | 翟长明 |
地址: | 621999 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 矩形 孔单级 衍射 光栅 | ||
1.一种矩形孔单级衍射光栅,其特征在于:所述光栅由规则矩形孔基元在基底二维方向周期性重复排列而成,光栅的基元矩形孔长宽比为3:2,矩形孔的长边与一维的轴线方向成45°夹角,同一维相邻的两个矩形孔对角线交点间的距离与矩形孔长边边长的比例为。
2.根据权利要求1所述的单级衍射光栅,其特征在于:所述基元间距为亚微米量级。
3.根据权利要求1所述的单级衍射光栅,其特征在于:所述基元间距为微米量级及以上。
4.根据权利要求1~3中任一所述的单级衍射光栅,其特征在于:所述的衍射光栅为透射光栅,矩形孔为不透光薄膜基底上的透光通孔。
5.根据权利要求1~3中任一所述的单级衍射光栅,其特征在于:所述的衍射光栅为反射光栅,矩形基元是不透光基底上的凸起反光基元。
6.根据权利要求5所述的单级衍射光栅,其特征在于:所述的衍射光栅基底表面为平面或曲面。
7.根据权利要求4所述的单级衍射光栅,其特征在于:所述的衍射光栅转印成反光栅。
8.根据权利要求1所述的单级衍射光栅,其特征在于:所述的衍射光栅复印成为复制光栅。
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